Магнитоподвесной турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1401
Магнитоподвесной турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1401 относится к серии «Магнитоподвесные турбомолекулярные насосы» и предназначен для получения высокого и сверхвысокого вакуума в технологических, аналитических и исследовательских установках.
| Модель | CXF-200/1401 |
|---|---|
| Группа оборудования | Турбомолекулярные насосы |
| Серия | Магнитоподвесные турбомолекулярные насосы |
| Тип | Магнитоподвесной турбомолекулярный насос |
| Входной фланец | DN200 ISO F (Standard) |
| Параметр | DN200 CF (Optional) |
| Фланец | KF40 |
| Скорость откачки | N2：1280 л/с |
| Степень сжатия | N2：>108 |
| Предельное давление | 10-7(Rubber seal) 10-8(metal seal) Па |
| ， | Radial：3 Axial：15 mT |
| Номинальная скорость вращения | 30000 ≤6 ≤8 об/мин мин мин |
| Охлаждение | водяное охлаждение |
| Расход охлаждающей воды | 2 l/мин |
| Температура охлаждающей воды | 20±5 °C |
| Напряжение питания | 220±10%，50Гц 110±10%，60Гц В AC |
| Питание | 1000 Вт |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | ≥16 л/с |
| Масса | 51 кг |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Техническое назначение
Магнитоподвесной турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1401 применяется для получения высокого и сверхвысокого вакуума в технологических, аналитических и исследовательских установках. Модель подбирают по скорости откачки, предельному давлению, газовой нагрузке, фланцам, охлаждению и совместимому форвакуумному оборудованию.
Подбор насосной системы
- скорость откачки выбирают по объему камеры, допустимому времени выхода на режим и рабочему газу;
- предельное давление и форвакуумное давление проверяют вместе с форвакуумным насосом;
- фланцы, охлаждение, питание и монтажное положение согласуют с конструкцией установки;
- для магнитоподвесных исполнений отдельно учитывают требования к чистоте процесса и режиму газовой нагрузки.
Эксплуатация
Магнитоподвесной турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1401 требует корректного форвакуумного тракта, чистых соединений, стабильного питания и соблюдения условий охлаждения. Регламент обслуживания зависит от исполнения подшипников, рабочей среды и фактической нагрузки.
Назначение и принцип подбора
Магнитоподвесной турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1401 подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- вакуумная откачка технологических камер
- аналитические приборы, напыление, ионные и плазменные процессы
- исследовательские и производственные вакуумные стенды
Преимущества
- без смазки, чистый высокий и сверхвысокий вакуум
- длительная откачка коррозионных газов
- монтаж под любым углом
- низкое энергопотребление и отсутствие трения
- интерфейсы внешнего управления и связи
- защитные подшипники и функция генерации энергии при внезапном отключении питания
Комплектация и аксессуары
- Комплектация, кабели, фланцы, контроллеры и вспомогательные узлы подбираются по конфигурации установки.
Подбор и совместимость
При подборе учитываются рабочее давление, производительность откачки, газовая нагрузка, тип присоединительных фланцев, контроллер, форвакуумный насос и условия монтажа.
Обслуживание
- контроль чистоты вакуумной линии и состояния фланцев
- проверка охлаждения, питания и режима запуска
- согласование регламента обслуживания по типу подшипника и условиям эксплуатации
Документы
Паспорта, инструкции и комплект документации предоставляются при подборе оборудования и согласовании комплектации. Для запроса материалов напишите на vac@kykytech.ru.