Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-300
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-300 объединяет турбомолекулярный насос, контроллер и форвакуумную часть для получения высокого вакуума в компактной насосной системе.
| Модель | KYKY FJ-300 / FJ-300G |
|---|---|
| Группа оборудования | Вакуумные системы |
| Серия | Турбомолекулярные насосные станции |
| Тип | Турбомолекулярная насосная станция |
| Входной фланец | KF25 |
| Выходной фланец | KF25 (ISO-KF) |
| Скорость откачки | N2:296 л/с |
| Степень сжатия | N2:109 |
| Предельное давление (заводской показатель) | 5×10-5 Па |
| Охлаждение | воздушное |
| Расход охлаждающей воды | >1 л/мин |
| Температура охлаждающей воды | ≤25 °C |
| Питание | AC 220 В, 16 А, 50 Гц |
| Влажность | ≤80% RH |
| Монтажное положение | Вертикальное |
| Габариты | 570×616×1261 мм |
| Масса | 123 кг (FJ-300), 80 кг (FJ-300G) |
| Скорость откачки по N₂ | 296 л/с |
| Скорость откачки по He | 250 л/с |
| Скорость откачки по H₂ | 200 л/с |
| Скорость откачки по Ar | 305 л/с |
| Степень сжатия по N₂ / Ar | 1×10⁹ |
| Степень сжатия по He | 6×10⁵ |
| Степень сжатия по H₂ | 1×10⁵ |
| Предельное давление | ≤ 5×10⁻⁵ Па |
| Рекомендуемое форвакуумное давление | < 10 Па |
| Форвакуумный насос (FJ-300) | пластинчато-роторный RV-4 (масляный) |
| Форвакуумный насос (FJ-300G) | спиральный WXP-3A-03 (безмасляный) |
| Диапазон температуры окружающей среды | от +5 до +45 °C, влажность ≤ 85 % |
| Контроллер | TCP-100 |
| Способ установки | горизонтально |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Техническое назначение
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-300 применяется для получения высокого и сверхвысокого вакуума в технологических, аналитических и исследовательских установках. Модель подбирают по скорости откачки, предельному давлению, газовой нагрузке, фланцам, охлаждению и совместимому форвакуумному оборудованию.
Подбор насосной системы
- скорость откачки выбирают по объему камеры, допустимому времени выхода на режим и рабочему газу;
- предельное давление и форвакуумное давление проверяют вместе с форвакуумным насосом;
- фланцы, охлаждение, питание и монтажное положение согласуют с конструкцией установки;
- для магнитоподвесных исполнений отдельно учитывают требования к чистоте процесса и режиму газовой нагрузки.
Эксплуатация
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-300 требует корректного форвакуумного тракта, чистых соединений, стабильного питания и соблюдения условий охлаждения. Регламент обслуживания зависит от исполнения подшипников, рабочей среды и фактической нагрузки.
Назначение и подбор
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-300 подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- вакуумная откачка технологических камер
- аналитические приборы, напыление, ионные и плазменные процессы
- исследовательские и производственные вакуумные стенды
Преимущества
- заводская интеграция насоса, форвакуумной ступени и управления
- вертикальный монтаж
- варианты воздушного и водяного охлаждения
- исполнения с разными скоростями откачки и форвакуумными насосами
Комплектация и аксессуары
- Комплектация, кабели, фланцы, контроллеры и вспомогательные узлы подбираются по конфигурации установки.
Обслуживание
- контроль чистоты вакуумной линии и состояния фланцев
- проверка охлаждения, питания и режима запуска
- согласование регламента обслуживания по типу подшипника и условиям эксплуатации
Технический лист модели
Русскоязычный PDF содержит изображение, назначение, параметры модели и критерии подбора.