Многопозиционный вакуумный шкаф хранения KYKY
Чистое вакуумное хранилище для полупроводниковых и оптоэлектронных компонентов, металлических материалов, прецизионной механики и химического сырья
| Система | Многопозиционный вакуумный шкаф хранения KYKY |
|---|---|
| Группа оборудования | вакуумные системы и автоматизированный контроль |
| Тип | вакуумная технологическая система |
| Предельный вакуум | ≤5×10^-4 Па без нагрузки |
| Количество камер хранения | 5; возможно исполнение под задачу |
| Уровень шума | ≤65 дБ |
| Управление станциями | независимое или общее управление; регулируемые давление азотного развакуумирования и число циклов напуска |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Техническое назначение
Чистое вакуумное хранилище с турбомолекулярным насосом, пластинчато-роторным насосом, вакуумными преобразователями, передней вакуумной линией и системой управления.
Рабочий процесс
- подготовка изделия или технологической камеры к вакуумному циклу;
- откачка до заданного давления и контроль параметров процесса;
- нагрев, охлаждение, газонаполнение, испытание герметичности или технологическая обработка по назначению системы;
- регистрация результатов, контроль состояния узлов и повторяемость производственного цикла.
Автоматизация и интеграция
Многопозиционный вакуумный шкаф хранения KYKY применяется как самостоятельная установка или как часть производственного участка. Для интеграции уточняют состав вакуумной системы, число рабочих мест, тип оснастки, требования к контролю данных, газовой линии, охлаждению, безопасности и обслуживанию.
Что уточнить при заказе
- габариты, масса и материал изделий;
- целевой вакуум, допустимая утечка и время цикла;
- режимы нагрева, охлаждения, напуска газа или контроля гелием;
- требуемый уровень автоматизации, интерфейсы и журналирование данных;
- состав насосов, клапанов, датчиков, камер, оснастки и защитных блокировок.
Назначение и принцип подбора
Многопозиционный вакуумный шкаф хранения KYKY подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- сборка на раме из турбомолекулярного насоса, пластинчато-роторного насоса, вакуумного преобразователя, форвакуумной линии и системы управления
- каждая позиция может управляться независимо или совместно
- настраиваемое давление азотного напуска и число повторных напусков
Преимущества
- сборка на раме из турбомолекулярного насоса, пластинчато-роторного насоса, вакуумного преобразователя, форвакуумной линии и системы управления
- каждая позиция может управляться независимо или совместно
- настраиваемое давление азотного напуска и число повторных напусков
Комплектация и аксессуары
- Комплектация, кабели, фланцы, контроллеры и вспомогательные узлы подбираются по конфигурации установки.
Подбор и совместимость
При подборе учитываются рабочее давление, производительность откачки, газовая нагрузка, тип присоединительных фланцев, контроллер, форвакуумный насос и условия монтажа.
Обслуживание
- проверка соединений, питания, рабочих условий и соответствия комплектации задаче
Документы
Паспорта, инструкции и комплект документации предоставляются при подборе оборудования и согласовании комплектации. Для запроса материалов напишите на vac@kykytech.ru.