Двухкамерная четырёхмишенная установка магнетронного напыления KYVAC
Оборудование KYKY для вакуумных технологических, аналитических и исследовательских установок. KYKY Tech Russia помогает с подбором комплектации, поставкой, запуском и сервисной поддержкой.
| Модель | Двухкамерная четырёхмишенная установка магнетронного напыления KYVAC |
|---|---|
| Группа оборудования | Системы вакуумного напыления |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Двухкамерная четырёхмишенная установка магнетронного напыления KYVAC — промышленное вакуумное оборудование для задачи «исследовательское вакуумное напыление». Конфигурация подбирается по объекту, требуемому рабочему циклу и условиям интеграции в производственный или исследовательский участок.
Технические характеристики и особенности
1. Область применения
Это устройство используется для нанесения металлических пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок и т. д. методом магнетронного распыления. Пользователи могут выбирать различные режимы работы в соответствии с требованиями процесса, включая независимую работу с одной мишенью, попеременную работу с четырьмя мишенями или любую комбинацию совместного распыления с четырьмя мишенями. Устройство состоит из двух вакуумных камер: основной и камеры подготовки. Основная камера используется для нанесения пленки, завершая основной процесс нанесения покрытия пользователем. Камера подготовки соединена с основной камерой через задвижку высокого вакуума и может использоваться для плазменной очистки подложек до и после осаждения пленки, что позволяет заменять подложку без нарушения вакуума в основной камере.
2. Параметры производительности
Камера нанесения покрытия:
1. Эффективный размер примерно Φ500×550, максимальный вакуум: 5×10-5Па;
2. Магнетронные мишени: 3 дюйма, 4 шт., совместимые с постоянным и радиочастотным напряжением, регулируемые расстояние до основания и угол мишени; оснащены пневматическими (газовыми) затворами;
3. Размер подложки 4 дюйма, возможность вращения и подъема;
4. Температура нагрева 600 °C, точность контроля температуры ± 1 градус;
5. Вращение предметного столика, скорость: регулируемая 2-20 об/мин;
6. Смещение, толщиномер пленки и линейка пленки опционально;
Подготовительная камера:
1. Эффективный размер примерно Φ300×350; предельный вакуум: 5×10-4Па;
2. Камера имеет функцию самонагрева, выпечки и дегазации;
3. Функция очистки подложек ионным распылением;
4. Оснащен библиотекой подложек, способной загружать 4 подложки одновременно;
5. Магнитный стержень для отбора проб для переноса субстрата.
Назначение
Двухкамерная четырёхмишенная установка магнетронного напыления применяется там, где требуется воспроизводимый вакуумный процесс, контролируемая последовательность операций и согласование оборудования с оснасткой заказчика. На этапе подбора определяются рабочая камера, вакуумная схема, средства измерения и алгоритм управления.
Основные сведения
| Наименование | Двухкамерная четырёхмишенная установка магнетронного напыления KYVAC |
|---|---|
| Модель или исполнение | Проектное исполнение |
| Категория | Системы вакуумного напыления |
| Технологический процесс | Исследовательское вакуумное напыление |
| Тип поставки | Комплектная установка или интегрируемый модуль |
| Объект обработки или контроля | Определяется изделием и техническим заданием |
| Рабочая конфигурация | Согласуется по производительности, габаритам изделия и вакуумному циклу |
| Инженерная подготовка | Подбор, наладка, ввод в эксплуатацию и обучение операторов |
Технологическая схема
Система формируется вокруг рабочей камеры или технологической оснастки. Вакуумная часть, измерительные каналы, запорная арматура и управление согласуются как единый комплекс. Такой подход позволяет задать последовательность откачки, выдержки, измерения или обработки и корректно связать установку с существующей инфраструктурой.
Применение
Оборудование подходит для промышленных предприятий, исследовательских центров и испытательных лабораторий, которым требуется исследовательское вакуумное напыление. Фактические параметры цикла и состав поставки фиксируются после анализа изделия и требований к процессу.
Комплектация и интеграция
При подготовке проекта учитываются вакуумные соединения, электропитание, охлаждение, газовые линии, размещение оборудования, требования к автоматизации и безопасной эксплуатации. Совместимые насосы, вакуумметры, клапаны, оснастка и средства управления выбираются под конкретную конфигурацию.
Сервис и запуск
Для оборудования доступны техническое консультирование, наладка, ввод в эксплуатацию, обучение заказчика и сервисная поддержка. Для подбора исполнения направьте описание изделия и рабочего цикла на vac@kykytech.ru.