Двухкамерная многофункциональная установка магнетронного напыления KYVAC
Оборудование KYKY для вакуумных технологических, аналитических и исследовательских установок. KYKY Tech Russia помогает с подбором комплектации, поставкой, запуском и сервисной поддержкой.
| Модель | Двухкамерная многофункциональная установка магнетронного напыления KYVAC |
|---|---|
| Группа оборудования | Системы вакуумного напыления |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Двухкамерная многофункциональная установка магнетронного напыления KYVAC — промышленное вакуумное оборудование для задачи «исследовательское вакуумное напыление». Конфигурация подбирается по объекту, требуемому рабочему циклу и условиям интеграции в производственный или исследовательский участок.
Технические характеристики и особенности
1. Область применения
Это устройство используется для осаждения различных однослойных, многослойных пленок и легированных пленочных систем. Он может наносить различные твердые пленки, металлические пленки, сплавы, соединения, полупроводники, керамические пленки и диэлектрические композитные пленки, а также наносить ферромагнитные материалы. Изображенная машина для нанесения покрытия имеет двухкамерную камеру с общей системой высокого вакуума; Чтобы избежать перекрестного загрязнения, в одной камере можно нанести покрытие электронной пушкой/резистивным испарением, а в другой камере можно нанести покрытие методом напыления.
2. Параметры производительности
1. Предельное вакуумное давление: 5×10-5Па;
2. Магнетронная мишень: Диаметр Φ50, Количество: 2-4 шт.;
3. Целевая плотность мощности: (Вт/см²) 5～20;
4. Целевая мощность источника питания (Вт): DC500Вт, RF500Вт;
5. Температура нагрева подложки: контролируемая 0～500 °C;
6. Технологические газы: МТЦ 1-3 канала;
7. Держатель образца: регулируемая скорость вращения 2-20 об/мин;
8. Электронная пушка: 1 комплект электрического (пневматического) затвора мощностью 6-10 кВт;
9. Источник питания для испарения: Количество: 1-2 комплекта, Мощность: 2 кВт, Напряжение: 0-35 В;
10. Другие конфигурации: смещение, датчик толщины пленки, датчик тонкой пленки, электрический (пневматический) затвор с магнетронной мишенью (опционально).
Назначение
Двухкамерная многофункциональная установка магнетронного напыления применяется там, где требуется воспроизводимый вакуумный процесс, контролируемая последовательность операций и согласование оборудования с оснасткой заказчика. На этапе подбора определяются рабочая камера, вакуумная схема, средства измерения и алгоритм управления.
Основные сведения
| Наименование | Двухкамерная многофункциональная установка магнетронного напыления KYVAC |
|---|---|
| Модель или исполнение | Проектное исполнение |
| Категория | Системы вакуумного напыления |
| Технологический процесс | Исследовательское вакуумное напыление |
| Тип поставки | Комплектная установка или интегрируемый модуль |
| Объект обработки или контроля | Определяется изделием и техническим заданием |
| Рабочая конфигурация | Согласуется по производительности, габаритам изделия и вакуумному циклу |
| Инженерная подготовка | Подбор, наладка, ввод в эксплуатацию и обучение операторов |
Технологическая схема
Система формируется вокруг рабочей камеры или технологической оснастки. Вакуумная часть, измерительные каналы, запорная арматура и управление согласуются как единый комплекс. Такой подход позволяет задать последовательность откачки, выдержки, измерения или обработки и корректно связать установку с существующей инфраструктурой.
Применение
Оборудование подходит для промышленных предприятий, исследовательских центров и испытательных лабораторий, которым требуется исследовательское вакуумное напыление. Фактические параметры цикла и состав поставки фиксируются после анализа изделия и требований к процессу.
Комплектация и интеграция
При подготовке проекта учитываются вакуумные соединения, электропитание, охлаждение, газовые линии, размещение оборудования, требования к автоматизации и безопасной эксплуатации. Совместимые насосы, вакуумметры, клапаны, оснастка и средства управления выбираются под конкретную конфигурацию.
Сервис и запуск
Для оборудования доступны техническое консультирование, наладка, ввод в эксплуатацию, обучение заказчика и сервисная поддержка. Для подбора исполнения направьте описание изделия и рабочего цикла на vac@kykytech.ru.