Двухступенчатая установка магнетронного напыления KYVAC
Оборудование KYKY для вакуумных технологических, аналитических и исследовательских установок. Подбор выполняется по параметрам рабочего процесса и совместимости компонентов.
| Модель | Двухступенчатая установка магнетронного напыления KYVAC |
|---|---|
| Группа оборудования | Системы вакуумного напыления |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Двухступенчатая установка магнетронного напыления KYVAC — промышленное вакуумное оборудование для задачи «промышленное нанесение покрытий в вакууме». Конфигурация подбирается по объекту, требуемому рабочему циклу и условиям интеграции в производственный или исследовательский участок.
Технические характеристики и особенности
Машина для нанесения магнетронного напыления умножителей в основном используется для нанесения пленок сурьмы на поверхность трубчатых умножителей фотоумножителей. В процессе подготовки пленки он может выполнять такие функции, как пропекание и дегазация подложки фотоумножителя, очистка ионной бомбардировкой, осаждение пленки с помощью напряжения смещения, тестирование толщины пленки и т. д. Он поддерживает цифровое программирование, программное управление и динамический мониторинг, способный отображать, записывать, составлять статистику, рассчитывать, хранить и выводить в реальном времени различные рабочие данные, обеспечивая точный контроль толщины пленки и однородности осаждения.
Параметры производительности:
1) Магнетронное мишенное осаждение монометаллической сурьмы;
2) Внутренние размеры камеры: Φ600×420;
3) Оснащен функциями очистки смещения и вспомогательными функциями осаждения;
4) Предельный вакуум; 5,0×10-5Па (время достижения предельного вакуума при комнатной температуре и состоянии вакуума при разрыве азота ≤ 4 часов);
5) Рабочий вакуум: вакуум в рабочей камере лучше 2,0×10-2Па (время достижения рабочего вакуума в камере, нагретой до 300 °C, ≤ 0,5 часа);
6) Температура выпечки макс. 300 °C, время нагрева от комнатной температуры до 300 °C ≤ 20 минут, точность измерения температуры ≤ ± 2 °C.
7) Стойка для заготовок: стабильная работа, регулируемая скорость 0,5-5 об/мин;
8) Производственная мощность около 700 штук/день;
Назначение
Двухступенчатая установка магнетронного напыления применяется там, где требуется воспроизводимый вакуумный процесс, контролируемая последовательность операций и согласование оборудования с оснасткой заказчика. На этапе подбора определяются рабочая камера, вакуумная схема, средства измерения и алгоритм управления.
Основные сведения
| Наименование | Двухступенчатая установка магнетронного напыления KYVAC |
|---|---|
| Модель или исполнение | Проектное исполнение |
| Категория | Системы вакуумного напыления |
| Технологический процесс | Промышленное нанесение покрытий в вакууме |
| Тип поставки | Комплектная установка или интегрируемый модуль |
| Объект обработки или контроля | Определяется изделием и техническим заданием |
| Рабочая конфигурация | Согласуется по производительности, габаритам изделия и вакуумному циклу |
| Инженерная подготовка | Подбор, наладка, ввод в эксплуатацию и обучение операторов |
Технологическая схема
Система формируется вокруг рабочей камеры или технологической оснастки. Вакуумная часть, измерительные каналы, запорная арматура и управление согласуются как единый комплекс. Такой подход позволяет задать последовательность откачки, выдержки, измерения или обработки и корректно связать установку с существующей инфраструктурой.
Применение
Оборудование подходит для промышленных предприятий, исследовательских центров и испытательных лабораторий, которым требуется промышленное нанесение покрытий в вакууме. Фактические параметры цикла и состав поставки фиксируются после анализа изделия и требований к процессу.
Комплектация и интеграция
При подготовке проекта учитываются вакуумные соединения, электропитание, охлаждение, газовые линии, размещение оборудования, требования к автоматизации и безопасной эксплуатации. Совместимые насосы, вакуумметры, клапаны, оснастка и средства управления выбираются под конкретную конфигурацию.
Сервис и запуск
Для оборудования доступны техническое консультирование, наладка, ввод в эксплуатацию, обучение заказчика и сервисная поддержка. Для подбора исполнения направьте описание изделия и рабочего цикла на vac@kykytech.ru.
Технический лист модели
Русскоязычный PDF содержит изображение, назначение, параметры модели и критерии подбора.