Комбинированная установка термического и магнетронного напыления KYVAC
Оборудование KYKY для вакуумных технологических, аналитических и исследовательских установок. KYKY Tech Russia помогает с подбором комплектации, поставкой, запуском и сервисной поддержкой.
| Модель | Комбинированная установка термического и магнетронного напыления KYVAC |
|---|---|
| Группа оборудования | Системы вакуумного напыления |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Комбинированная установка термического и магнетронного напыления KYVAC — промышленное вакуумное оборудование для задачи «исследовательское вакуумное напыление». Конфигурация подбирается по объекту, требуемому рабочему циклу и условиям интеграции в производственный или исследовательский участок.
Технические характеристики и особенности
1. Область применения
Устройство имеет функции термического испарения и магнетронного распыления покрытия в одной и той же вакуумной камере, используемой для осаждения различных однослойных пленок, многослойных пленок и систем легированных пленок; он может покрывать различные твердые пленки, металлические пленки, сплавы, соединения, полупроводники, керамические пленки, диэлектрические композитные пленки, а также покрывать ферромагнитные материалы.
2. Параметры производительности
1. Предельное вакуумное давление: 8×10-5Па;
2. Магнетронная мишень: 2 шт., диаметр мишени Φ50, оснащенная электрической (газовой) подвижной перегородкой;
3. Время откачки восстановления вакуума (мин): <30;
4. Вакуумная камера: Φ500×550;
5. Испарительные электроды: 2 пары, 2 кВт, оборудованные электрической (газовой) подвижной перегородкой;
6. Этап образца: планетарное вращение, вращение: регулируемое 2-20 об/мин;
7. Смещение, датчик толщины пленки, датчик тонкой пленки, нагрев столика для образца опционально;
Назначение
Комбинированная установка термического и магнетронного напыления применяется там, где требуется воспроизводимый вакуумный процесс, контролируемая последовательность операций и согласование оборудования с оснасткой заказчика. На этапе подбора определяются рабочая камера, вакуумная схема, средства измерения и алгоритм управления.
Основные сведения
| Наименование | Комбинированная установка термического и магнетронного напыления KYVAC |
|---|---|
| Модель или исполнение | Проектное исполнение |
| Категория | Системы вакуумного напыления |
| Технологический процесс | Исследовательское вакуумное напыление |
| Тип поставки | Комплектная установка или интегрируемый модуль |
| Объект обработки или контроля | Определяется изделием и техническим заданием |
| Рабочая конфигурация | Согласуется по производительности, габаритам изделия и вакуумному циклу |
| Инженерная подготовка | Подбор, наладка, ввод в эксплуатацию и обучение операторов |
Технологическая схема
Система формируется вокруг рабочей камеры или технологической оснастки. Вакуумная часть, измерительные каналы, запорная арматура и управление согласуются как единый комплекс. Такой подход позволяет задать последовательность откачки, выдержки, измерения или обработки и корректно связать установку с существующей инфраструктурой.
Применение
Оборудование подходит для промышленных предприятий, исследовательских центров и испытательных лабораторий, которым требуется исследовательское вакуумное напыление. Фактические параметры цикла и состав поставки фиксируются после анализа изделия и требований к процессу.
Комплектация и интеграция
При подготовке проекта учитываются вакуумные соединения, электропитание, охлаждение, газовые линии, размещение оборудования, требования к автоматизации и безопасной эксплуатации. Совместимые насосы, вакуумметры, клапаны, оснастка и средства управления выбираются под конкретную конфигурацию.
Сервис и запуск
Для оборудования доступны техническое консультирование, наладка, ввод в эксплуатацию, обучение заказчика и сервисная поддержка. Для подбора исполнения направьте описание изделия и рабочего цикла на vac@kykytech.ru.