Линейная установка нанесения покрытий на линзы Лауэ KYVAC
Оборудование KYKY для вакуумных технологических, аналитических и исследовательских установок. KYKY Tech Russia помогает с подбором комплектации, поставкой, запуском и сервисной поддержкой.
| Модель | Линейная установка нанесения покрытий на линзы Лауэ KYVAC |
|---|---|
| Группа оборудования | Системы вакуумного напыления |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Линейная установка нанесения покрытий на линзы Лауэ KYVAC — промышленное вакуумное оборудование для задачи «промышленное нанесение покрытий в вакууме». Конфигурация подбирается по объекту, требуемому рабочему циклу и условиям интеграции в производственный или исследовательский участок.
Технические характеристики и особенности
Линейная машина для нанесения покрытия на линзы Лауэ — это высокотехнологичный прибор, разработанный для высокоэнергетического источника синхротронного излучения (HEPS), используемого для изготовления пленок линз Лауэ с жесткими рентгеновскими лучами и нанофокусировкой. Основными особенностями являются большое количество слоев пленки (тысячи и более) и высокая точность положения и толщины слоев (средняя общая ошибка положения менее ± 5 нм, ошибка толщины каждого слоя менее 0,1 нм). Чтобы обеспечить точность толщины каждого слоя пленки, для подготовки пленки используется технология магнетронного распыления, преимущества которой заключаются в точном контроле толщины слоя, хорошей повторяемости, сильной адгезии между пленкой и подложкой, высокой чистоте пленки и хорошей плотности.
Параметры производительности:
Камера для образцов
Предел базового вакуума <8×10-5Па
Скорость утечки в камере <1×10-7Па.л/с.
Максимальная температура нагрева подложки ≥500 °C
Камера осаждения
Предельный вакуум: <8×10-6Па
Скорость утечки из камеры <1×10-8Па.л/с
Количество целевых позиций ≥9
Расстояние между мишенью и образцом 60–100 мм, регулируется вручную.
Количество переключаемых целевых позиций на источник питания ≥4
Максимальная температура нагрева подложки ≥200 °C
Стабильность скорости системы движения ≤0,1%/300 мм
Прямолинейность системы движения ≤30 мкм/300 мм
Камера обнаружения
Предельный вакуум: <8×10-6Па
Скорость утечки из камеры <1×10-8Па.л/с
Назначение
Линейная установка нанесения покрытий на линзы лауэ применяется там, где требуется воспроизводимый вакуумный процесс, контролируемая последовательность операций и согласование оборудования с оснасткой заказчика. На этапе подбора определяются рабочая камера, вакуумная схема, средства измерения и алгоритм управления.
Основные сведения
| Наименование | Линейная установка нанесения покрытий на линзы Лауэ KYVAC |
|---|---|
| Модель или исполнение | Проектное исполнение |
| Категория | Системы вакуумного напыления |
| Технологический процесс | Промышленное нанесение покрытий в вакууме |
| Тип поставки | Комплектная установка или интегрируемый модуль |
| Объект обработки или контроля | Определяется изделием и техническим заданием |
| Рабочая конфигурация | Согласуется по производительности, габаритам изделия и вакуумному циклу |
| Инженерная подготовка | Подбор, наладка, ввод в эксплуатацию и обучение операторов |
Технологическая схема
Система формируется вокруг рабочей камеры или технологической оснастки. Вакуумная часть, измерительные каналы, запорная арматура и управление согласуются как единый комплекс. Такой подход позволяет задать последовательность откачки, выдержки, измерения или обработки и корректно связать установку с существующей инфраструктурой.
Применение
Оборудование подходит для промышленных предприятий, исследовательских центров и испытательных лабораторий, которым требуется промышленное нанесение покрытий в вакууме. Фактические параметры цикла и состав поставки фиксируются после анализа изделия и требований к процессу.
Комплектация и интеграция
При подготовке проекта учитываются вакуумные соединения, электропитание, охлаждение, газовые линии, размещение оборудования, требования к автоматизации и безопасной эксплуатации. Совместимые насосы, вакуумметры, клапаны, оснастка и средства управления выбираются под конкретную конфигурацию.
Сервис и запуск
Для оборудования доступны техническое консультирование, наладка, ввод в эксплуатацию, обучение заказчика и сервисная поддержка. Для подбора исполнения направьте описание изделия и рабочего цикла на vac@kykytech.ru.