Установка нанесения светозащитных покрытий на MPO KYVAC
Оборудование KYKY для вакуумных технологических, аналитических и исследовательских установок. KYKY Tech Russia помогает с подбором комплектации, поставкой, запуском и сервисной поддержкой.
| Модель | Установка нанесения светозащитных покрытий на MPO KYVAC |
|---|---|
| Группа оборудования | Системы вакуумного напыления |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Установка нанесения светозащитных покрытий на MPO KYVAC — промышленное вакуумное оборудование для задачи «специализированные процессы вакуумного напыления». Конфигурация подбирается по объекту, требуемому рабочему циклу и условиям интеграции в производственный или исследовательский участок.
Технические характеристики и особенности
Устройство представляет собой оборудование для электронно-лучевого испарения в высоком вакууме, которое использует электронный луч с высокой плотностью энергии для бомбардировки материала покрытия, вызывая его испарение и осаждение на поверхности подложки; это устройство используется для нанесения никель-хромового сплава или других отдельных металлов и сплавов на поверхности кварца или других материалов; Оборудование состоит из вертикальной вакуумной камеры с водяным охлаждением и передним открытием, вакуумной системы, системы инструментов, системы электронно-лучевого осаждения, системы ионной бомбардировки, системы нагрева, системы измерения и мониторинга, электрической системы управления и вспомогательных систем (рама, тракт технологического газа, тракт сжатого воздуха, тракт охлаждающей воды, аксессуары) и т. д.
Параметры производительности:
1) Материал напыления: сплав CrNi (Cr80Ni20);
2) Толщиномер пленки: разрешение 0,01 Å;
3) Оснащен функцией тлеющего разряда: максимальное напряжение 3 кВ, мощность 600 Вт, 320 мА, рабочее давление 2,0×10-2 мбар;
4) Однородность слоя пленки: ±5%;
5) Предельный вакуум: 8,0×10-5Па;
6) Базовый вакуум: 5×10-4Па, время достижения: ≤30 минут;
7) Размер внутренней полости: Φ800×1000;
8) Электронная пушка: Φ50X25, 10 кВт, отклонение 270°; электронная пушка имеет функции гашения дуги и программируемого сканирования;
9) Вращающаяся рама заготовки: заготовка может достигать самовращения, двухслойного размещения для нанесения на различные поверхности, а глубина осаждения в микропорах определяется углом размещения заготовки; Скорость вращения: 1-10 об/мин;
10) Температура нагрева: макс. 300 °C, рабочая 200 °C; однородность ±2 °C;
11) Система управления: ПК+ПЛК, может переключаться между автоматическим и ручным режимами управления, с различными защитами от блокировки, множеством функций отображения параметров и возможностью сохранения меню процесса.
Назначение
Установка нанесения светозащитных покрытий на mpo применяется там, где требуется воспроизводимый вакуумный процесс, контролируемая последовательность операций и согласование оборудования с оснасткой заказчика. На этапе подбора определяются рабочая камера, вакуумная схема, средства измерения и алгоритм управления.
Основные сведения
| Наименование | Установка нанесения светозащитных покрытий на MPO KYVAC |
|---|---|
| Модель или исполнение | Проектное исполнение |
| Категория | Системы вакуумного напыления |
| Технологический процесс | Специализированные процессы вакуумного напыления |
| Тип поставки | Комплектная установка или интегрируемый модуль |
| Объект обработки или контроля | Определяется изделием и техническим заданием |
| Рабочая конфигурация | Согласуется по производительности, габаритам изделия и вакуумному циклу |
| Инженерная подготовка | Подбор, наладка, ввод в эксплуатацию и обучение операторов |
Технологическая схема
Система формируется вокруг рабочей камеры или технологической оснастки. Вакуумная часть, измерительные каналы, запорная арматура и управление согласуются как единый комплекс. Такой подход позволяет задать последовательность откачки, выдержки, измерения или обработки и корректно связать установку с существующей инфраструктурой.
Применение
Оборудование подходит для промышленных предприятий, исследовательских центров и испытательных лабораторий, которым требуется специализированные процессы вакуумного напыления. Фактические параметры цикла и состав поставки фиксируются после анализа изделия и требований к процессу.
Комплектация и интеграция
При подготовке проекта учитываются вакуумные соединения, электропитание, охлаждение, газовые линии, размещение оборудования, требования к автоматизации и безопасной эксплуатации. Совместимые насосы, вакуумметры, клапаны, оснастка и средства управления выбираются под конкретную конфигурацию.
Сервис и запуск
Для оборудования доступны техническое консультирование, наладка, ввод в эксплуатацию, обучение заказчика и сервисная поддержка. Для подбора исполнения направьте описание изделия и рабочего цикла на vac@kykytech.ru.