Вертикальная многомишенная установка магнетронного напыления KYVAC
Оборудование KYKY для вакуумных технологических, аналитических и исследовательских установок. KYKY Tech Russia помогает с подбором комплектации, поставкой, запуском и сервисной поддержкой.
| Модель | Вертикальная многомишенная установка магнетронного напыления KYVAC |
|---|---|
| Группа оборудования | Системы вакуумного напыления |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Вертикальная многомишенная установка магнетронного напыления KYVAC — промышленное вакуумное оборудование для задачи «исследовательское вакуумное напыление». Конфигурация подбирается по объекту, требуемому рабочему циклу и условиям интеграции в производственный или исследовательский участок.
Технические характеристики и особенности
1. Область применения:
Это оборудование может наносить отдельные металлы, сплавы, а также различные средние пленки, многослойные пленки; в основном используется для исследования и мелкосерийного производства различных функциональных пленок (износостойких, антикоррозионных, проводящих, изоляционных и т. д.) на поверхности металлических и неметаллических деталей ступичного типа Φ150-Φ500.
2. Параметры производительности
1. Вакуумная камера Φ1000×700 с водяным охлаждением, боковая дверца, штатив для образцов с самовращающимся механизмом;
2. Восемь мишеней для распыления, расположенных сверху и по бокам;
3. Шесть 6-дюймовых мишеней постоянного тока, каждая из которых оснащена одним комплектом источника питания постоянного тока мощностью 3 кВт;
4. Две 6-дюймовые радиочастотные мишени, каждая из которых оснащена одним комплектом радиочастотного источника питания мощностью 1,5 кВт;
5. Система оснащена источником ионов Кауфмана для очистки заготовок;
6. Камера может нагреваться до максимальной температуры 300 °C.
7. Предельный вакуум: 5×10-4Па.
Назначение
Вертикальная многомишенная установка магнетронного напыления применяется там, где требуется воспроизводимый вакуумный процесс, контролируемая последовательность операций и согласование оборудования с оснасткой заказчика. На этапе подбора определяются рабочая камера, вакуумная схема, средства измерения и алгоритм управления.
Основные сведения
| Наименование | Вертикальная многомишенная установка магнетронного напыления KYVAC |
|---|---|
| Модель или исполнение | Проектное исполнение |
| Категория | Системы вакуумного напыления |
| Технологический процесс | Исследовательское вакуумное напыление |
| Тип поставки | Комплектная установка или интегрируемый модуль |
| Объект обработки или контроля | Определяется изделием и техническим заданием |
| Рабочая конфигурация | Согласуется по производительности, габаритам изделия и вакуумному циклу |
| Инженерная подготовка | Подбор, наладка, ввод в эксплуатацию и обучение операторов |
Технологическая схема
Система формируется вокруг рабочей камеры или технологической оснастки. Вакуумная часть, измерительные каналы, запорная арматура и управление согласуются как единый комплекс. Такой подход позволяет задать последовательность откачки, выдержки, измерения или обработки и корректно связать установку с существующей инфраструктурой.
Применение
Оборудование подходит для промышленных предприятий, исследовательских центров и испытательных лабораторий, которым требуется исследовательское вакуумное напыление. Фактические параметры цикла и состав поставки фиксируются после анализа изделия и требований к процессу.
Комплектация и интеграция
При подготовке проекта учитываются вакуумные соединения, электропитание, охлаждение, газовые линии, размещение оборудования, требования к автоматизации и безопасной эксплуатации. Совместимые насосы, вакуумметры, клапаны, оснастка и средства управления выбираются под конкретную конфигурацию.
Сервис и запуск
Для оборудования доступны техническое консультирование, наладка, ввод в эксплуатацию, обучение заказчика и сервисная поддержка. Для подбора исполнения направьте описание изделия и рабочего цикла на vac@kykytech.ru.