Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-100/110E
турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-100/110E относится к серии Турбомолекулярные насосы с консистентной смазкой. Ниже приведены проверенные параметры базовой серии; конкретное исполнение уточняется при подборе комплектации.
| Модель | FF-100/110E |
|---|---|
| Группа оборудования | Турбомолекулярные насосы |
| Входной фланец | DN100 CF |
| Выходной фланец | DN25 | N2:110 | He:100 ISO-KF |
| Скорость откачки | H2:50 | Ar:100 л/с |
| Степень сжатия | N2:108 |
| Предельное давление | CF:6×10-7 Па |
| Максимальное непрерывное форвакуумное давление | 200 | N2:300 Па | Па |
| Максимальная газовая нагрузка | N2:300 | He:240 | H2:180 см3/мин |
| Номинальная скорость вращения | 42300 об/мин |
| Время запуска | ≤3 мин | 5-40 мин |
| Охлаждение | （ | 5-32°C | ） |
| Расход охлаждающей воды | ≥1 л/мин |
| Температура охлаждающей воды | ≤25 °C |
| Питание | 220±22 | ≤300 В AC | Вт |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 2 л/с |
| Масса | 7(ISO-K)8(CF) кг | 2 кг |
| Входное напряжение | 220В AC±20% V |
| Частота входного питания | 50/60Гц（±3%） |
| Максимальная выходная мощность | 120 Вт |
| Выходная частота | 705±10 Гц |
| Выходное напряжение | ≤40 V |
| Рабочий ток | ≤7 A |
| Максимальный пусковой ток | ≤3 A |
| / Start/Stop | 、。 | Available with Key panel , external control terминals and computer |
| Индикация | 、、、 | 、；LED | 。In the front panel: Output frequency, Output current, Output | voltage, errили type and function code, operation code and TMP model, | 2 separate LED lights indicate the states of Electrification and Errили. |
| Protection | ，，，，，， | ，，。 | In case of undervoltage, overvoltage, overcurrent, overheat, overload, | current output limit, overcurrent and overheat protection, | Паsswилиd errили, external interference protection. |
| Wилиking environment | :；:-10°C-＋50°C； | Facility environment: no highly cилиrosive gases and dust, | Temperature: -10°C-＋50°C | :90%（）；:0.5g（）。 | Humidity: |
| Исполнение | турбомолекулярный вакуумный насос |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Назначение и принцип подбора
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-100/110E подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- промышленное течеискание
- PVD и CVD процессы
- ионное травление
- оптическое покрытие
- вакуумные печи
- аналитические приборы
Комплектация и аксессуары
Финальная комплектация подбирается по модели, фланцам, контроллеру, датчикам, режиму охлаждения и требованиям установки.
Подбор и совместимость
При подборе учитываются рабочее давление, производительность откачки, газовая нагрузка, тип присоединительных фланцев, контроллер, форвакуумный насос и условия монтажа.
Обслуживание
- проверка охлаждения и питания
- контроль форвакуумного давления
- соблюдение регламента запуска и остановки
Документы
Паспорта, инструкции и комплект документации предоставляются при подборе оборудования и согласовании комплектации. Для запроса материалов напишите на vac@kykytech.ru.