Пилотная линия нанесения покрытий ITO и металлических электродов для дисплейных панелей KYVAC
Оборудование KYKY для вакуумных технологических, аналитических и исследовательских установок. KYKY Tech Russia помогает с подбором комплектации, поставкой, запуском и сервисной поддержкой.
| Модель | Пилотная линия нанесения покрытий ITO и металлических электродов для дисплейных панелей KYVAC |
|---|---|
| Группа оборудования | Системы вакуумного напыления |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Пилотная линия нанесения покрытий ITO и металлических электродов для дисплейных панелей KYVAC — промышленное вакуумное оборудование для задачи «промышленное нанесение покрытий в вакууме». Конфигурация подбирается по объекту, требуемому рабочему циклу и условиям интеграции в производственный или исследовательский участок.
Технические характеристики и особенности
1. Область применения:
Это устройство представляет собой оборудование для нанесения покрытий коробчатого типа ITO в высоком вакууме, в основном используемое для нанесения прозрачных проводящих пленок, таких как AZO, GZO, металлические пленки, полупроводниковые пленки и т. д., а также может использоваться для нанесения других функциональных пленок.
1. Система может проводить исследование и исследование процессов прозрачных проводящих пленок, таких как ITO, AZO, GZO и т. д.;
2. Он может выполнять напыление отдельных металлов, сплавов и многослойных пленок;
3. Он может выполнять реактивное напыление диэлектрических пленок, таких как оксиды, нитриды и карбиды;
4. Он может обеспечить напыление изоляционных материалов, таких как SiO2, Al2O3;
5. Он может проводить исследования и разработки функциональных пленок, содержащих вышеуказанные многослойные пленки;
2. Параметры производительности:
1. Двухкамерная конструкция (включая технологическую камеру и камеру ввода/вывода проб);
2. Максимальный размер образца для распыления примерно 450×250 мм;
3. Четыре мишени для магнитного распыления, две из которых являются сдвоенными мишенями, с двумя комплектами источников постоянного тока и одним комплектом среднечастотного источника питания;
4. Оборудован тремя газопроводами и соответствующими регуляторами расхода;
5. Оснащен предметным столиком с осевым линейным возвратно-поступательным движением;
6. Устройство онлайн-определения толщины пленки;
7. Система отопления и контроля температуры, обеспечивающая нагрев камеры до 500 °C.
Назначение
Пилотная линия нанесения покрытий ito и металлических электродов для дисплейных панелей применяется там, где требуется воспроизводимый вакуумный процесс, контролируемая последовательность операций и согласование оборудования с оснасткой заказчика. На этапе подбора определяются рабочая камера, вакуумная схема, средства измерения и алгоритм управления.
Основные сведения
| Наименование | Пилотная линия нанесения покрытий ITO и металлических электродов для дисплейных панелей KYVAC |
|---|---|
| Модель или исполнение | Проектное исполнение |
| Категория | Системы вакуумного напыления |
| Технологический процесс | Промышленное нанесение покрытий в вакууме |
| Тип поставки | Комплектная установка или интегрируемый модуль |
| Объект обработки или контроля | Определяется изделием и техническим заданием |
| Рабочая конфигурация | Согласуется по производительности, габаритам изделия и вакуумному циклу |
| Инженерная подготовка | Подбор, наладка, ввод в эксплуатацию и обучение операторов |
Технологическая схема
Система формируется вокруг рабочей камеры или технологической оснастки. Вакуумная часть, измерительные каналы, запорная арматура и управление согласуются как единый комплекс. Такой подход позволяет задать последовательность откачки, выдержки, измерения или обработки и корректно связать установку с существующей инфраструктурой.
Применение
Оборудование подходит для промышленных предприятий, исследовательских центров и испытательных лабораторий, которым требуется промышленное нанесение покрытий в вакууме. Фактические параметры цикла и состав поставки фиксируются после анализа изделия и требований к процессу.
Комплектация и интеграция
При подготовке проекта учитываются вакуумные соединения, электропитание, охлаждение, газовые линии, размещение оборудования, требования к автоматизации и безопасной эксплуатации. Совместимые насосы, вакуумметры, клапаны, оснастка и средства управления выбираются под конкретную конфигурацию.
Сервис и запуск
Для оборудования доступны техническое консультирование, наладка, ввод в эксплуатацию, обучение заказчика и сервисная поддержка. Для подбора исполнения направьте описание изделия и рабочего цикла на vac@kykytech.ru.