Универсальная установка магнетронного напыления KYVAC
Оборудование KYKY для вакуумных технологических, аналитических и исследовательских установок. KYKY Tech Russia помогает с подбором комплектации, поставкой, запуском и сервисной поддержкой.
| Модель | Универсальная установка магнетронного напыления KYVAC |
|---|---|
| Группа оборудования | Системы вакуумного напыления |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Универсальная установка магнетронного напыления KYVAC — промышленное вакуумное оборудование для задачи «исследовательское вакуумное напыление». Конфигурация подбирается по объекту, требуемому рабочему циклу и условиям интеграции в производственный или исследовательский участок.
Технические характеристики и особенности
1. Область применения
Машины для нанесения магнетронного напыления являются наиболее широко используемым оборудованием для PVD-осаждения, подходящим для различных однослойных, многослойных пленок и систем легированных пленок. Они могут покрывать различные твердые пленки, металлические пленки, сплавы, соединения, полупроводники, керамические пленки, диэлектрические композитные пленки и другие химически активные пленки, а также покрывать ферромагнитные материалы. Данное оборудование в основном используется для лабораторной подготовки оптических, электрических, оптоэлектронных и других функциональных пленок, а также для подготовки пленочных слоев катализаторов для роста наноматериалов. Это оборудование широко используется в колледжах и университетах, а также в связанных с ними исследовательских учреждениях.
2. Параметры производительности:
1. Предельное вакуумное давление: 5×10-5Па;
2. Мишень магнетрона: диаметр Φ50-Φ150; Количество: 2-4 шт.;
3. Целевая плотность мощности: (Вт/см²) 5～20;
4. Целевая мощность (Вт): DC500-5000 Вт, RF500-1000 Вт;
5. Температура нагрева подложки: контролируемая 0～500 °C;
6. Время откачки для восстановления вакуума (мин): от атмосферы до 5×10-4Па <30 мин;
7. Технологический газ: МФЦ 1-4 канала;
8. Держатель образца: орбитальный или самовращающийся;
9. Другие конфигурации: смещение, толщиномер пленки, линейка тонкой пленки, электрические (пневматические) жалюзи магнетрона (опционально);
Назначение
Универсальная установка магнетронного напыления применяется там, где требуется воспроизводимый вакуумный процесс, контролируемая последовательность операций и согласование оборудования с оснасткой заказчика. На этапе подбора определяются рабочая камера, вакуумная схема, средства измерения и алгоритм управления.
Основные сведения
| Наименование | Универсальная установка магнетронного напыления KYVAC |
|---|---|
| Модель или исполнение | Проектное исполнение |
| Категория | Системы вакуумного напыления |
| Технологический процесс | Исследовательское вакуумное напыление |
| Тип поставки | Комплектная установка или интегрируемый модуль |
| Объект обработки или контроля | Определяется изделием и техническим заданием |
| Рабочая конфигурация | Согласуется по производительности, габаритам изделия и вакуумному циклу |
| Инженерная подготовка | Подбор, наладка, ввод в эксплуатацию и обучение операторов |
Технологическая схема
Система формируется вокруг рабочей камеры или технологической оснастки. Вакуумная часть, измерительные каналы, запорная арматура и управление согласуются как единый комплекс. Такой подход позволяет задать последовательность откачки, выдержки, измерения или обработки и корректно связать установку с существующей инфраструктурой.
Применение
Оборудование подходит для промышленных предприятий, исследовательских центров и испытательных лабораторий, которым требуется исследовательское вакуумное напыление. Фактические параметры цикла и состав поставки фиксируются после анализа изделия и требований к процессу.
Комплектация и интеграция
При подготовке проекта учитываются вакуумные соединения, электропитание, охлаждение, газовые линии, размещение оборудования, требования к автоматизации и безопасной эксплуатации. Совместимые насосы, вакуумметры, клапаны, оснастка и средства управления выбираются под конкретную конфигурацию.
Сервис и запуск
Для оборудования доступны техническое консультирование, наладка, ввод в эксплуатацию, обучение заказчика и сервисная поддержка. Для подбора исполнения направьте описание изделия и рабочего цикла на vac@kykytech.ru.