Установка вакуумного напыления методом резистивного испарения KYVAC
Оборудование KYKY для вакуумных технологических, аналитических и исследовательских установок. KYKY Tech Russia помогает с подбором комплектации, поставкой, запуском и сервисной поддержкой.
| Модель | Установка вакуумного напыления методом резистивного испарения KYVAC |
|---|---|
| Группа оборудования | Системы вакуумного напыления |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Установка вакуумного напыления методом резистивного испарения KYVAC — промышленное вакуумное оборудование для задачи «исследовательское вакуумное напыление». Конфигурация подбирается по объекту, требуемому рабочему циклу и условиям интеграции в производственный или исследовательский участок.
Технические характеристики и особенности
1. Область применения
Это устройство представляет собой многоцелевую машину для нанесения покрытий сопротивлением испарению в высоком вакууме с четырьмя парами электродов, которые могут испарять различные материалы индивидуально или одновременно. Устройство имеет вертикальную конструкцию с верхним отверстием, и четыре пары электродов могут испаряться отдельно или вместе. Размер образца составляет 300 (макс.), столик для образца вращается, а скорость вращения регулируется в диапазоне 2-20 об/мин; расходомер контролирует поток газа в соответствии с требованиями к давлению ионной бомбардировки.
2. Параметры производительности
1. Размер камеры нанесения покрытия: купол Φ450×500 мм.
2. Эффективный размер покрытия: Φ300 мм.
3. Мощность ионной бомбардировки: 0,6 кВт.
4. Время откачки восстановления вакуума (мин): <30
5. Количество источников испарения: 4 пары, с электрическими перегородками;
6. Мощность источника испарения: 2 кВт (дополнительный контроль тока и напряжения);
7. Датчик смещения, датчик толщины пленки, датчик тонкой пленки и нагрев столика для образца являются дополнительными;
8. Технологический газ: МФЦ 1 канал;
Назначение
Установка вакуумного напыления методом резистивного испарения применяется там, где требуется воспроизводимый вакуумный процесс, контролируемая последовательность операций и согласование оборудования с оснасткой заказчика. На этапе подбора определяются рабочая камера, вакуумная схема, средства измерения и алгоритм управления.
Основные сведения
| Наименование | Установка вакуумного напыления методом резистивного испарения KYVAC |
|---|---|
| Модель или исполнение | Проектное исполнение |
| Категория | Системы вакуумного напыления |
| Технологический процесс | Исследовательское вакуумное напыление |
| Тип поставки | Комплектная установка или интегрируемый модуль |
| Объект обработки или контроля | Определяется изделием и техническим заданием |
| Рабочая конфигурация | Согласуется по производительности, габаритам изделия и вакуумному циклу |
| Инженерная подготовка | Подбор, наладка, ввод в эксплуатацию и обучение операторов |
Технологическая схема
Система формируется вокруг рабочей камеры или технологической оснастки. Вакуумная часть, измерительные каналы, запорная арматура и управление согласуются как единый комплекс. Такой подход позволяет задать последовательность откачки, выдержки, измерения или обработки и корректно связать установку с существующей инфраструктурой.
Применение
Оборудование подходит для промышленных предприятий, исследовательских центров и испытательных лабораторий, которым требуется исследовательское вакуумное напыление. Фактические параметры цикла и состав поставки фиксируются после анализа изделия и требований к процессу.
Комплектация и интеграция
При подготовке проекта учитываются вакуумные соединения, электропитание, охлаждение, газовые линии, размещение оборудования, требования к автоматизации и безопасной эксплуатации. Совместимые насосы, вакуумметры, клапаны, оснастка и средства управления выбираются под конкретную конфигурацию.
Сервис и запуск
Для оборудования доступны техническое консультирование, наладка, ввод в эксплуатацию, обучение заказчика и сервисная поддержка. Для подбора исполнения направьте описание изделия и рабочего цикла на vac@kykytech.ru.