Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-80
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-80 объединяет турбомолекулярный насос, контроллер и форвакуумную часть для получения высокого вакуума в компактной насосной системе.
| Модель | KYKY FJ-80 |
|---|---|
| Группа оборудования | Вакуумные системы |
| Серия | Турбомолекулярные насосные станции |
| Тип | Турбомолекулярная насосная станция |
| Скорость откачки | N2:62 л/с |
| Степень сжатия | N2:109 |
| Предельное давление (заводской показатель) | 5×10-5 Па |
| Охлаждение | воздушное |
| Питание | AC 220 В ±10 %, 50 Гц |
| Влажность | ≤80% RH |
| × × L*W*H | 433×320×280 мм |
| Турбомолекулярный насос | FF-63/80 |
| Скорость откачки по N₂ | 62 л/с |
| Скорость откачки по He | 55 л/с |
| Скорость откачки по H₂ | 34 л/с |
| Скорость откачки по Ar | 65 л/с |
| Степень сжатия по N₂ / Ar | 10⁹ |
| Степень сжатия по He | 10⁵ |
| Степень сжатия по H₂ | 10⁴ |
| Предельное давление | ≤ 2×10⁻⁶ Па |
| Рекомендуемое форвакуумное давление | < 50 Па |
| Форвакуумный насос | GHD-031B (масляный), безмасляный опционально |
| Входной фланец | 63 CF (варианты DN63/CF35/KF40) |
| Выходной фланец | DN25 ISO-KF |
| Контроллер | TC-100 / TCP-100 |
| Диапазон температуры окружающей среды | от +5 °C до +32 °C |
| Способ установки | вертикальный |
| Габариты | 400×300×260 мм |
| Масса | примерно 21 кг |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Техническое назначение
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-80 применяется для получения высокого и сверхвысокого вакуума в технологических, аналитических и исследовательских установках. Модель подбирают по скорости откачки, предельному давлению, газовой нагрузке, фланцам, охлаждению и совместимому форвакуумному оборудованию.
Подбор насосной системы
- скорость откачки выбирают по объему камеры, допустимому времени выхода на режим и рабочему газу;
- предельное давление и форвакуумное давление проверяют вместе с форвакуумным насосом;
- фланцы, охлаждение, питание и монтажное положение согласуют с конструкцией установки;
- для магнитоподвесных исполнений отдельно учитывают требования к чистоте процесса и режиму газовой нагрузки.
Эксплуатация
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-80 требует корректного форвакуумного тракта, чистых соединений, стабильного питания и соблюдения условий охлаждения. Регламент обслуживания зависит от исполнения подшипников, рабочей среды и фактической нагрузки.
Назначение и подбор
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-80 подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- вакуумная откачка технологических камер
- аналитические приборы, напыление, ионные и плазменные процессы
- исследовательские и производственные вакуумные стенды
Комплектация и аксессуары
Состав комплектации определяется исполнением модели, фланцами, контроллером, датчиками, охлаждением и требованиями установки.
Обслуживание
- контроль чистоты вакуумной линии и состояния фланцев
- проверка охлаждения, питания и режима запуска
- согласование регламента обслуживания по типу подшипника и условиям эксплуатации
Технический лист модели
Русскоязычный PDF содержит изображение, назначение, параметры модели и критерии подбора.