Линия ионной имплантации и магнетронного напыления KYKY
Система для имплантации металлических ионов в поверхность кварцевых изделий и нанесения многослойных металлических покрытий
| Система | Линия ионной имплантации и магнетронного напыления KYKY |
|---|---|
| Группа оборудования | вакуумные системы и автоматизированный контроль |
| Тип | вакуумная технологическая система |
| Предельный вакуум | ≤5×10^-5 Па |
| Скорость натекания | ≤0,67 Па/ч |
| Точность позиционирования | ±0,5 мм |
| Неравномерность толщины пленки | ≤5 % |
| Максимальная температура | 500 °C |
| Точность регулирования температуры | ±1 °C |
| Мишени распыления | 6 шт. |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Техническое назначение
Вакуумная линия для ионной имплантации, магнетронного напыления, осаждения пленок и отжига с автоматическим прохождением образца через технологические камеры.
Рабочий процесс
- подготовка изделия или технологической камеры к вакуумному циклу;
- откачка до заданного давления и контроль параметров процесса;
- нагрев, охлаждение, газонаполнение, испытание герметичности или технологическая обработка по назначению системы;
- регистрация результатов, контроль состояния узлов и повторяемость производственного цикла.
Автоматизация и интеграция
Линия ионной имплантации и магнетронного напыления KYKY применяется как самостоятельная установка или как часть производственного участка. Для интеграции уточняют состав вакуумной системы, число рабочих мест, тип оснастки, требования к контролю данных, газовой линии, охлаждению, безопасности и обслуживанию.
Что уточнить при заказе
- габариты, масса и материал изделий;
- целевой вакуум, допустимая утечка и время цикла;
- режимы нагрева, охлаждения, напуска газа или контроля гелием;
- требуемый уровень автоматизации, интерфейсы и журналирование данных;
- состав насосов, клапанов, датчиков, камер, оснастки и защитных блокировок.
Назначение и принцип подбора
Линия ионной имплантации и магнетронного напыления KYKY подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- отдельные вакуумные камеры для ионной имплантации, магнетронного напыления и отжига
- соединение камер шиберными клапанами
- перемещение оснастки по направляющим между камерами
- автоматический процесс от входа держателя в камеру имплантации до камеры отжига
Преимущества
- отдельные вакуумные камеры для ионной имплантации, магнетронного напыления и отжига
- соединение камер шиберными клапанами
- перемещение оснастки по направляющим между камерами
- автоматический процесс от входа держателя в камеру имплантации до камеры отжига
Комплектация и аксессуары
- Комплектация, кабели, фланцы, контроллеры и вспомогательные узлы подбираются по конфигурации установки.
Подбор и совместимость
При подборе учитываются рабочее давление, производительность откачки, газовая нагрузка, тип присоединительных фланцев, контроллер, форвакуумный насос и условия монтажа.
Обслуживание
- проверка соединений, питания, рабочих условий и соответствия комплектации задаче
Документы
Паспорта, инструкции и комплект документации предоставляются при подборе оборудования и согласовании комплектации. Для запроса материалов напишите на vac@kykytech.ru.