Высоковакуумная система нанесения светоблокирующих пленок MCP KYKY
Высоковакуумная электронно-лучевая испарительная установка для осаждения никель-хромовых, металлических и сплавных пленок на кварцевые и другие подложки
| Система | Высоковакуумная система нанесения светоблокирующих пленок MCP KYKY |
|---|---|
| Группа оборудования | вакуумные системы и автоматизированный контроль |
| Тип | вакуумная технологическая система |
| Предельный вакуум | 8,0×10^-5 Па |
| Базовый вакуум | ≤5×10^-4 Па |
| Рабочее давление | 2,0 Па |
| Неравномерность пленки | ≤±5 % |
| Осаждаемый материал | сплав CrNi |
| Разрешение измерителя толщины | ≤0,01 Å |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Техническое назначение
Высоковакуумная электронно-лучевая испарительная система для нанесения светоблокирующих пленок и покрытий на подложки.
Рабочий процесс
- подготовка изделия или технологической камеры к вакуумному циклу;
- откачка до заданного давления и контроль параметров процесса;
- нагрев, охлаждение, газонаполнение, испытание герметичности или технологическая обработка по назначению системы;
- регистрация результатов, контроль состояния узлов и повторяемость производственного цикла.
Автоматизация и интеграция
Высоковакуумная система нанесения светоблокирующих пленок MCP KYKY применяется как самостоятельная установка или как часть производственного участка. Для интеграции уточняют состав вакуумной системы, число рабочих мест, тип оснастки, требования к контролю данных, газовой линии, охлаждению, безопасности и обслуживанию.
Что уточнить при заказе
- габариты, масса и материал изделий;
- целевой вакуум, допустимая утечка и время цикла;
- режимы нагрева, охлаждения, напуска газа или контроля гелием;
- требуемый уровень автоматизации, интерфейсы и журналирование данных;
- состав насосов, клапанов, датчиков, камер, оснастки и защитных блокировок.
Назначение и принцип подбора
Высоковакуумная система нанесения светоблокирующих пленок MCP KYKY подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- электронно-лучевое испарение материала покрытия
- вакуумная система, электронно-лучевое осаждение, ионная бомбардировка, нагрев, измерение и управление
- высокая эффективность нанесения и хорошее качество пленки
Преимущества
- электронно-лучевое испарение материала покрытия
- вакуумная система, электронно-лучевое осаждение, ионная бомбардировка, нагрев, измерение и управление
- высокая эффективность нанесения и хорошее качество пленки
Комплектация и аксессуары
- Комплектация, кабели, фланцы, контроллеры и вспомогательные узлы подбираются по конфигурации установки.
Подбор и совместимость
При подборе учитываются рабочее давление, производительность откачки, газовая нагрузка, тип присоединительных фланцев, контроллер, форвакуумный насос и условия монтажа.
Обслуживание
- проверка соединений, питания, рабочих условий и соответствия комплектации задаче
Документы
Паспорта, инструкции и комплект документации предоставляются при подборе оборудования и согласовании комплектации. Для запроса материалов напишите на vac@kykytech.ru.