Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-700
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-700 объединяет турбомолекулярный насос, контроллер и форвакуумную часть для получения высокого вакуума в компактной насосной системе.
| Модель | FJ-700 |
|---|---|
| Группа оборудования | Вакуумные системы |
| Серия | Турбомолекулярные насосные станции |
| Тип | Турбомолекулярная насосная станция |
| Входной фланец | KF25 KF40 |
| Фланец | KF25 |
| Скорость откачки | N2：700 л/с |
| Параметр | He：580 |
| Степень сжатия | N2：109 |
| Заводской показатель | 5×10-5 Па |
| Форвакуумный насос | RВ-6 для FJ-700, FJ-700F ВPSL36 для FJ-700G, FJ-700FG |
| Охлаждение | водяное охлаждение |
| Расход охлаждающей воды | >1 L/мин |
| Температура охлаждающей воды | ≤25 °C |
| Питание | 380В±20В/50Гц |
| Температура окружающей среды | 5°C～40°C водяное охлаждение |
| Относительная влажность | ≤80% % % RH |
| Монтажное положение | вертикальная установка |
| Габариты | 550×690×840(LF), 550×690×850(CF)для FJ-700 650×690×840(LF), 650×690×850(CF) для FJ-700G мм |
| Масса | 135 для FJ-700 149 для FJ-700G кг |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Техническое назначение
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-700 применяется для получения высокого и сверхвысокого вакуума в технологических, аналитических и исследовательских установках. Модель подбирают по скорости откачки, предельному давлению, газовой нагрузке, фланцам, охлаждению и совместимому форвакуумному оборудованию.
Подбор насосной системы
- скорость откачки выбирают по объему камеры, допустимому времени выхода на режим и рабочему газу;
- предельное давление и форвакуумное давление проверяют вместе с форвакуумным насосом;
- фланцы, охлаждение, питание и монтажное положение согласуют с конструкцией установки;
- для магнитоподвесных исполнений отдельно учитывают требования к чистоте процесса и режиму газовой нагрузки.
Эксплуатация
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-700 требует корректного форвакуумного тракта, чистых соединений, стабильного питания и соблюдения условий охлаждения. Регламент обслуживания зависит от исполнения подшипников, рабочей среды и фактической нагрузки.
Назначение и принцип подбора
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-700 подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- вакуумная откачка технологических камер
- аналитические приборы, напыление, ионные и плазменные процессы
- исследовательские и производственные вакуумные стенды
Преимущества
- заводская интеграция насоса, форвакуумной ступени и управления
- вертикальный монтаж
- варианты воздушного и водяного охлаждения
- исполнения с разными скоростями откачки и форвакуумными насосами
Комплектация и аксессуары
- Комплектация, кабели, фланцы, контроллеры и вспомогательные узлы подбираются по конфигурации установки.
Подбор и совместимость
При подборе учитываются рабочее давление, производительность откачки, газовая нагрузка, тип присоединительных фланцев, контроллер, форвакуумный насос и условия монтажа.
Обслуживание
- контроль чистоты вакуумной линии и состояния фланцев
- проверка охлаждения, питания и режима запуска
- согласование регламента обслуживания по типу подшипника и условиям эксплуатации
Документы
Паспорта, инструкции и комплект документации предоставляются при подборе оборудования и согласовании комплектации. Для запроса материалов напишите на vac@kykytech.ru.