Магнитоподвесной турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1401
Магнитоподвесной турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1401 относится к серии «Магнитоподвесные турбомолекулярные насосы» и предназначен для получения высокого и сверхвысокого вакуума в технологических, аналитических и исследовательских установках.
| Модель | CXF-200/1401 |
|---|---|
| Группа оборудования | Турбомолекулярные насосы |
| Входной фланец | DN200 ISO F | （стандартно） |
| Выходной фланец | KF40 | N2:1280 |
| Скорость откачки | Ar:1100 л/с |
| Степень сжатия | N2:>108 |
| Предельное давление | 10-7 (эластомерное уплотнение) Па |
| Максимальный кратковременный поток на входе | 1100 | KF10 см3/мин |
| Purge Pилиt Flange optional | 20 см3/мин |
| Protective Gas Flow Magnetic Field，Max | радиальное:3 mT |
| Номинальная скорость вращения | 30000 об/мин |
| Время запуска | ≤6 мин |
| Время выбега | ≤8 мин |
| Охлаждение | водяное охлаждение |
| Расход охлаждающей воды | 2 л/мин |
| Температура охлаждающей воды | 20±5 °C |
| Питание | 220±10%，50Гц | 110±10%，60Гц В AC |
| Совместимый контроллер | CXFD-1001 | ≥16 л/с |
| Масса | 51 кг |
| Исполнение | контроллер вакуумного насоса |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Назначение и принцип подбора
Магнитоподвесной турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1401 подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- промышленное течеискание
- PVD и CVD процессы
- ионное травление
- оптическое покрытие
- вакуумные печи
- аналитические приборы
Комплектация и аксессуары
Финальная комплектация подбирается по модели, фланцам, контроллеру, датчикам, режиму охлаждения и требованиям установки.
Подбор и совместимость
При подборе учитываются рабочее давление, производительность откачки, газовая нагрузка, тип присоединительных фланцев, контроллер, форвакуумный насос и условия монтажа.
Обслуживание
- проверка контроллера магнитного подвеса
- контроль охлаждения и кабельных соединений
- соблюдение требований к чистоте вакуумной линии
Документы
Паспорта, инструкции и комплект документации предоставляются при подборе оборудования и согласовании комплектации. Для запроса материалов напишите на vac@kykytech.ru.