Магнитоподвесной турбомолекулярный насос KYKY CXF-320/3002
Магнитоподвесной турбомолекулярный насос KYKY CXF-320/3002 относится к серии «Магнитоподвесные турбомолекулярные насосы» и предназначен для получения высокого и сверхвысокого вакуума в технологических, аналитических и исследовательских установках.
| Модель | CXF-320/3002 |
|---|---|
| Группа оборудования | Турбомолекулярные насосы |
| Серия | Магнитоподвесные турбомолекулярные насосы |
| Тип | Магнитоподвесной турбомолекулярный насос |
| Выходной фланец | KF40 | N2:3260 |
| Скорость откачки | Ar:2900 л/с |
| Степень сжатия | N2:>108 |
| Время запуска | ≤ 10 мин |
| Охлаждение | водяное, расход ≥ 3 л/мин, 10–25 °C |
| Температура охлаждающей воды | 20±5 °C |
| Питание | AC 220 В ±10 % 50 Гц / AC 110 В ±10 % 60 Гц |
| Масса | 76 кг |
| Параметр | Значение для CXF-320/3002 |
| Тип насоса | Турбомолекулярный с активной магнитной подвеской |
| Входной фланец | DN320 ISO-F |
| Выхлопной фланец | KF40 |
| Быстрота откачки по N₂ | 3260 л/с |
| Быстрота откачки по Ar | 2900 л/с |
| Быстрота откачки по He | 2550 л/с |
| Быстрота откачки по H₂ | 1730 л/с |
| Степень сжатия по N₂ / Ar | > 1×10⁹ |
| Степень сжатия по He | > 1×10⁴ |
| Степень сжатия по H₂ | > 1×10³ |
| Предельное давление (Viton) | 1,0×10⁻⁷ Па |
| Предельное давление (металл. уплотнение) | 1,0×10⁻⁸ Па |
| Максимальное форвакуумное давление | 2400 Па |
| Порт защитного газа | KF10 |
| Расход защитного газа | 50 см³/мин (N₂) |
| Скорость вращения ротора | 24 000 об/мин |
| Время останова | ≤ 14 мин |
| Контроллер | модель CXF-3002 |
| Монтажное положение | любое |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Техническое назначение
Магнитоподвесной турбомолекулярный насос KYKY CXF-320/3002 применяется для получения высокого и сверхвысокого вакуума в технологических, аналитических и исследовательских установках. Модель подбирают по скорости откачки, предельному давлению, газовой нагрузке, фланцам, охлаждению и совместимому форвакуумному оборудованию.
Подбор насосной системы
- скорость откачки выбирают по объему камеры, допустимому времени выхода на режим и рабочему газу;
- предельное давление и форвакуумное давление проверяют вместе с форвакуумным насосом;
- фланцы, охлаждение, питание и монтажное положение согласуют с конструкцией установки;
- для магнитоподвесных исполнений отдельно учитывают требования к чистоте процесса и режиму газовой нагрузки.
Эксплуатация
Магнитоподвесной турбомолекулярный насос KYKY CXF-320/3002 требует корректного форвакуумного тракта, чистых соединений, стабильного питания и соблюдения условий охлаждения. Регламент обслуживания зависит от исполнения подшипников, рабочей среды и фактической нагрузки.
Назначение и подбор
Магнитоподвесной турбомолекулярный насос KYKY CXF-320/3002 подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- вакуумная откачка технологических камер
- аналитические приборы, напыление, ионные и плазменные процессы
- исследовательские и производственные вакуумные стенды
Комплектация и аксессуары
Состав комплектации определяется исполнением модели, фланцами, контроллером, датчиками, охлаждением и требованиями установки.
Обслуживание
- контроль чистоты вакуумной линии и состояния фланцев
- проверка охлаждения, питания и режима запуска
- согласование регламента обслуживания по типу подшипника и условиям эксплуатации
Технический лист модели
Русскоязычный PDF содержит изображение, назначение, параметры модели и критерии подбора.