Турбомолекулярные насосы
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-320/3001E
турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-320/3001E относится к серии Магнитоподвесные турбомолекулярные насосы. Ниже приведены проверенные параметры базовой серии; конкретное исполнение уточняется при подборе комплектации.
МодельCXF-320/3001E
Группа оборудованияТурбомолекулярные насосы
Входной фланецDN320 ISO F | （ стандартно）
Выходной фланецKF40 | N2:2950
| Модель | CXF-320/3001E |
|---|---|
| Группа оборудования | Турбомолекулярные насосы |
| Входной фланец | DN320 ISO F | （ стандартно） |
| Выходной фланец | KF40 | N2:2950 |
| Скорость откачки | Ar:2750 л/с |
| Степень сжатия | N2:>108 |
| Предельное давление | 10-7 (эластомерное уплотнение) Па |
| Максимальный кратковременный поток на входе | 2100 | KF10 см3/мин |
| Purge Pилиt Flange optional | 50 см3/мин |
| Protective Gas Flow Magnetic Field，Max | радиальное:3 mT |
| Номинальная скорость вращения | 21000 об/мин |
| Время запуска | ≤9 мин |
| Время выбега | ≤12 мин |
| Охлаждение | водяное охлаждение |
| Расход охлаждающей воды | 3 л/мин |
| Температура охлаждающей воды | 20±5 °C |
| Питание | 220±10%，50Гц | 110±10%，60Гц В AC |
| Совместимый контроллер | CXFD-1601 | ≥30 л/с |
| Масса | 76 кг |
| Исполнение | турбомолекулярный вакуумный насос |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Назначение и подбор
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-320/3001E подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- промышленное течеискание
- PVD и CVD процессы
- ионное травление
- оптическое покрытие
- вакуумные печи
- аналитические приборы
Комплектация и аксессуары
Состав комплектации определяется исполнением модели, фланцами, контроллером, датчиками, охлаждением и требованиями установки.
Обслуживание
- проверка контроллера магнитного подвеса
- контроль охлаждения и кабельных соединений
- соблюдение требований к чистоте вакуумной линии
Документация
Технический лист модели
Русскоязычный PDF содержит изображение, назначение, параметры модели и критерии подбора.
Нужна проверка совместимости?Укажите модель, рабочее давление, объём камеры и требуемый режим.
Написать специалисту