Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-700
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-700 применяется для получения высокого и сверхвысокого вакуума в технологических, аналитических и исследовательских установках. Модель подбирают по скорости откачки, предельному давлению, газовой нагрузке, фланцам, охлаждению и совместимому форвакуумному оборудованию.
| Модель | KYKY FJ-700 |
|---|---|
| Группа оборудования | Турбомолекулярные насосы |
| Входной фланец | DN150 CF / DN150 ISO-K |
| Фланец | KF25 |
| Скорость откачки | N2:700 л/с |
| Параметр | He:580 |
| Степень сжатия | N2:109 |
| Заводской показатель | 5×10-5 Па |
| Форвакуумный насос | RV-6 (стандарт) |
| Охлаждение | водяное (t воды ≤ 25 °C), возможно воздушное |
| Расход охлаждающей воды | > 1 л/мин |
| Температура охлаждающей воды | ≤25 °C |
| Питание | AC 380 В ±10 %, 50 Гц |
| Температура окружающей среды | от +5 до +40 °C |
| Относительная влажность | ≤80% % % RH |
| Монтажное положение | вертикальная установка |
| Габариты | 550×690×850 мм |
| Масса | около 135 кг |
| Исполнение | Турбомолекулярная насосная станция |
| Скорость откачки по N₂ | 700 л/с |
| Скорость откачки по He | 580 л/с |
| Скорость откачки по H₂ | 260 л/с |
| Скорость откачки по Ar | 680 л/с |
| Степень сжатия по N₂ / Ar | 1×10⁹ |
| Степень сжатия по He | 1×10⁷ |
| Степень сжатия по H₂ | 1×10⁶ |
| Предельное давление | ≤ 5×10⁻⁵ Па (CF) |
| Рекомендуемое форвакуумное давление | ≈ 100 Па |
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF |
| Влажность | ≤ 80 % |
| Контроллер | TCDP-II |
| Вакуумметр | комбинированный ZDF-11B5 |
| Способ установки | вертикальный |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Назначение и подбор
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-700 подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- вакуумная откачка технологических камер
- аналитические приборы, напыление, ионные и плазменные процессы
- исследовательские и производственные вакуумные стенды
Комплектация и аксессуары
Состав комплектации определяется исполнением модели, фланцами, контроллером, датчиками, охлаждением и требованиями установки.
Обслуживание
- контроль чистоты вакуумной линии и состояния фланцев
- проверка охлаждения, питания и режима запуска
- согласование регламента обслуживания по типу подшипника и условиям эксплуатации
Технический лист модели
Русскоязычный PDF содержит изображение, назначение, параметры модели и критерии подбора.