Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-620
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-620 объединяет турбомолекулярный насос, контроллер и форвакуумную часть для получения высокого вакуума в компактной насосной системе.
| Модель | KYKY FJ-620 |
|---|---|
| Группа оборудования | Вакуумные системы |
| Серия | Турбомолекулярные насосные станции |
| Тип | Турбомолекулярная насосная станция |
| Входной фланец | DN150 CF / DN150 ISO-K |
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF |
| Скорость откачки | N2:600 л/с |
| Степень сжатия | N2:109 |
| Предельное давление (заводской показатель) | 5×10-5 Па |
| Охлаждение | водяное охлаждение |
| Расход охлаждающей воды | > 1 л/мин, t ≤ 25 °C |
| Температура охлаждающей воды | ≤25 °C |
| Питание | AC 380 В ± 20 %, 50 Гц |
| Влажность | ≤80% RH |
| Монтажное положение | Вертикальное |
| Габариты | 550×690×956 мм (LF); 550×690×970 мм (CF) |
| Масса | около 117 кг |
| Скорость откачки по N₂ | 600 л/с |
| Скорость откачки по He | 380 л/с |
| Скорость откачки по H₂ | 240 л/с |
| Скорость откачки по Ar | 580 л/с |
| Степень сжатия по N₂ / Ar | 1×10⁹ |
| Степень сжатия по He | 1×10⁵ |
| Степень сжатия по H₂ | 1×10⁴ |
| Предельное давление | ≤ 5×10⁻⁵ Па (CF) |
| Рекомендуемое форвакуумное давление | ≈ 100 Па |
| Форвакуумный насос | RV-6 (масляный, стандартное исполнение) |
| Тип охлаждения | воздушное или водяное |
| Диапазон температуры окружающей среды | воздушное: +5…+32 °C; водяное: +5…+40 °C |
| Контроллер | TCDP-II |
| Способ установки | вертикальный |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Техническое назначение
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-620 применяется для получения высокого и сверхвысокого вакуума в технологических, аналитических и исследовательских установках. Модель подбирают по скорости откачки, предельному давлению, газовой нагрузке, фланцам, охлаждению и совместимому форвакуумному оборудованию.
Подбор насосной системы
- скорость откачки выбирают по объему камеры, допустимому времени выхода на режим и рабочему газу;
- предельное давление и форвакуумное давление проверяют вместе с форвакуумным насосом;
- фланцы, охлаждение, питание и монтажное положение согласуют с конструкцией установки;
- для магнитоподвесных исполнений отдельно учитывают требования к чистоте процесса и режиму газовой нагрузки.
Эксплуатация
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-620 требует корректного форвакуумного тракта, чистых соединений, стабильного питания и соблюдения условий охлаждения. Регламент обслуживания зависит от исполнения подшипников, рабочей среды и фактической нагрузки.
Назначение и подбор
Турбомолекулярная насосная станция KYKY FJ-620 подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- вакуумная откачка технологических камер
- аналитические приборы, напыление, ионные и плазменные процессы
- исследовательские и производственные вакуумные стенды
Преимущества
- заводская интеграция насоса, форвакуумной ступени и управления
- вертикальный монтаж
- варианты воздушного и водяного охлаждения
- исполнения с разными скоростями откачки и форвакуумными насосами
Комплектация и аксессуары
- Комплектация, кабели, фланцы, контроллеры и вспомогательные узлы подбираются по конфигурации установки.
Обслуживание
- контроль чистоты вакуумной линии и состояния фланцев
- проверка охлаждения, питания и режима запуска
- согласование регламента обслуживания по типу подшипника и условиям эксплуатации
Технический лист модели
Русскоязычный PDF содержит изображение, назначение, параметры модели и критерии подбора.