Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-63/80HV
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-63/80HV относится к серии «Турбомолекулярные насосы с консистентной смазкой» и предназначен для получения высокого и сверхвысокого вакуума в технологических, аналитических и исследовательских установках.
| Модель | FF-63/80HV |
|---|---|
| Группа оборудования | Турбомолекулярные насосы |
| Серия | Турбомолекулярные насосы для приборных систем |
| Тип | Турбомолекулярный вакуумный насос |
| Входной фланец | DN63 CF |
| Параметр | DN63 ISO-K |
| Фланец | DN16 ISO-KF |
| Скорость откачки | N2：62 л/с |
| Степень сжатия | N2：109 |
| Предельное давление | CF：5×10-6 Па |
| Форвакуумное давление | 500 |
| Газовая нагрузка | N2：35 sccm |
| Номинальная скорость вращения | 72000 об/мин |
| Время запуска | ≤3 мин |
| Охлаждение | водяное или воздушное охлаждение Втater или |
| Расход охлаждающей воды | 1 L/мин |
| Температура охлаждающей воды | ≤25 °C |
| Напряжение питания | DC24/AC220 В AC |
| Питание | 90 Вт |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 0.5-2 л/с |
| Масса | 3.5(ISO-K) 4.5(CF) кг |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Техническое назначение
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-63/80HV применяется для получения высокого и сверхвысокого вакуума в технологических, аналитических и исследовательских установках. Модель подбирают по скорости откачки, предельному давлению, газовой нагрузке, фланцам, охлаждению и совместимому форвакуумному оборудованию.
Подбор насосной системы
- скорость откачки выбирают по объему камеры, допустимому времени выхода на режим и рабочему газу;
- предельное давление и форвакуумное давление проверяют вместе с форвакуумным насосом;
- фланцы, охлаждение, питание и монтажное положение согласуют с конструкцией установки;
- для магнитоподвесных исполнений отдельно учитывают требования к чистоте процесса и режиму газовой нагрузки.
Эксплуатация
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-63/80HV требует корректного форвакуумного тракта, чистых соединений, стабильного питания и соблюдения условий охлаждения. Регламент обслуживания зависит от исполнения подшипников, рабочей среды и фактической нагрузки.
Назначение и принцип подбора
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-63/80HV подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- вакуумная откачка технологических камер
- аналитические приборы, напыление, ионные и плазменные процессы
- исследовательские и производственные вакуумные стенды
Преимущества
- компактная модульная конструкция
- удобная интеграция в приборные системы
- быстрый запуск и точное управление скоростью
- варианты естественного, воздушного или водяного охлаждения по исполнению
Комплектация и аксессуары
- Комплектация, кабели, фланцы, контроллеры и вспомогательные узлы подбираются по конфигурации установки.
Подбор и совместимость
При подборе учитываются рабочее давление, производительность откачки, газовая нагрузка, тип присоединительных фланцев, контроллер, форвакуумный насос и условия монтажа.
Обслуживание
- контроль чистоты вакуумной линии и состояния фланцев
- проверка охлаждения, питания и режима запуска
- согласование регламента обслуживания по типу подшипника и условиям эксплуатации
Документы
Паспорта, инструкции и комплект документации предоставляются при подборе оборудования и согласовании комплектации. Для запроса материалов напишите на vac@kykytech.ru.