Турбомолекулярные насосы
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-100/150
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-100/150 относится к серии «Турбомолекулярные насосы с консистентной смазкой» и предназначен для получения высокого и сверхвысокого вакуума в технологических, аналитических и исследовательских установках.
МодельFF-100/150
Группа оборудованияТурбомолекулярные насосы
Выходной фланецDN25 ISO-KF
Скорость откачкиN2:140 л/с
| Модель | FF-100/150 |
|---|---|
| Группа оборудования | Турбомолекулярные насосы |
| Выходной фланец | DN25 ISO-KF |
| Скорость откачки | N2:140 л/с |
| Степень сжатия | N2:107 |
| Предельное давление | CF:2×10-7 Па |
| Максимальное форвакуумное давление | N2:500 | N2:135 Па | см3/мин |
| Номинальная скорость вращения | 51000 об/мин |
| Время запуска | ≤3 мин | 3 мин |
| Охлаждение | водяное охлаждение или воздушное охлаждение |
| Расход охлаждающей воды | 1 л/мин |
| Температура охлаждающей воды | ≤25 | DC24/AC220 °C | В AC |
| Максимальная потребляемая мощность | 90 Вт |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 1–2 л/с |
| Масса | 6（ISO-K） | 8.5（CF） кг | 0.8 кг | 2.6 кг | 0.4 кг | 0.3 кг |
| Входное напряжение | 110В AC±10%/ | 220В AC±10% V | 24В DC±5% V | 24В DC±5% |
| Выходная частота | 47 - 63 Гц | Гц |
| Power | 100 Вт | 240 Вт | Вт |
| Output power | 24В DC±5% | В DC |
| Индикация | LCD |
| Температура рабочей среды | 5- 40 °C | 5-40 °C |
| Влажность | 80 % |
| Максимальная выходная мощность | 200 Вт |
| Frequency | 704/850 Гц |
| Max acceleration voltage | 15/18 V |
| Max acceleration current | 10.5 A |
| Shut-off time | 2/6 мин |
| × × L*W*H | 83.5×40×97 mm |
| Исполнение | гелиевый течеискатель |
| Параметр | Значение для FF-100/150 |
| Тип насоса | Турбомолекулярный, многокаскадный, с механической опорой ротора |
| Номинальная быстрота откачки по N₂ | 140 л/с |
| Быстрота откачки по He | 130 л/с |
| Быстрота откачки по H₂ | 75 л/с |
| Быстрота откачки по Ar | 145 л/с |
| Предельное остаточное давление (CF) | 2×10⁻⁷ Па |
| Предельное остаточное давление (ISO-K) | 2×10⁻⁶ Па |
| Степень сжатия по N₂ | 1×10⁷ |
| Степень сжатия по He | 1×10³ |
| Степень сжатия по H₂ | 1×10³ |
| Степень сжатия по Ar | 1×10⁷ |
| Допустимое форвакуумное давление (непрерывная работа) | 220 Па |
| Максимальное давление со стороны форнасоса (кратковременно) | до 500 Па |
| Номинальная скорость вращения ротора | 51 000 об/мин |
| Время разгона | не более 3 минут |
| Входной фланец | DN100 CF или DN100 ISO-K (по заказу) |
| Система охлаждения | Воздушное (стандарт), водяное 1 л/мин ≤25 °С (опция) |
| Питание | 24 В DC или 220 В AC через модуль TCP-100/TC-100 |
| Контроллер | Встроенный TD-150 |
| Масса (исполнение ISO-K) | около 6,0 кг |
| Масса (исполнение CF) | около 8,6 кг |
| Рабочая температура окружающей среды | от +5 до +40 °С |
| Установка в пространстве | Любое положение |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Назначение и подбор
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-100/150 подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- промышленное течеискание
- PVD и CVD процессы
- ионное травление
- оптическое покрытие
- вакуумные печи
- аналитические приборы
Комплектация и аксессуары
Состав комплектации определяется исполнением модели, фланцами, контроллером, датчиками, охлаждением и требованиями установки.
Обслуживание
- проверка охлаждения и питания
- контроль форвакуумного давления
- соблюдение регламента запуска и остановки
Документация
Технический лист модели
Русскоязычный PDF содержит изображение, назначение, параметры модели и критерии подбора.
Нужна проверка совместимости?Укажите модель, рабочее давление, объём камеры и требуемый режим.
Написать специалисту