Турбомолекулярные насосы
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-63/80
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-63/80 относится к серии «Турбомолекулярные насосы с консистентной смазкой» и предназначен для получения высокого и сверхвысокого вакуума в технологических, аналитических и исследовательских установках.
МодельKYKY FF-63/80
Группа оборудованияТурбомолекулярные насосы
Выходной фланецDN16 ISO-KF
Скорость откачкиN2:82 л/с
| Модель | KYKY FF-63/80 |
|---|---|
| Группа оборудования | Турбомолекулярные насосы |
| Выходной фланец | DN16 ISO-KF |
| Скорость откачки | N2:82 л/с |
| Степень сжатия | N2:108 |
| Предельное давление | CF:8×10-7 Па |
| Максимальное форвакуумное давление | N2:650 | N2:55 Па | см3/мин |
| Номинальная скорость вращения | 72000 об/мин |
| Время запуска | ≤3 мин | 2.5 мин |
| Охлаждение | Воздушное (5–32 °C) / водяное (5–40 °C) |
| Расход охлаждающей воды | 1 л/мин |
| Температура охлаждающей воды | ≤25 | DC24/AC220 °C | В AC |
| Максимальная потребляемая мощность | 90 Вт |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 0.5-2 л/с |
| Масса | 3.5（ISO-K） | 5（CF） кг | 0.8 кг | 2.6 кг | 0.4 кг | 0.3 кг |
| Входное напряжение | 110В AC±10%/ | 220В AC±10% V | 24В DC±5% V | 24В DC±5% |
| Выходная частота | 47 - 63 Гц | Гц |
| Power | 100 Вт | 240 Вт | Вт |
| Output power | 24В DC±5% | В DC |
| Индикация | LCD |
| Температура рабочей среды | 5- 40 °C | 5-40 °C |
| Влажность | 80 % |
| Максимальная выходная мощность | 75 Вт |
| Frequency | 1200 Гц |
| Max acceleration voltage | 18.5 V |
| Max acceleration current | 5.5 A |
| Shut-off time | 4.5 мин |
| × × L*W*H | 83.5×40×97 mm |
| Исполнение | гелиевый течеискатель |
| Быстрота откачки по N 2 , л/с | 62 |
| Быстрота откачки по He, л/с | 55 |
| Быстрота откачки по H 2 , л/с | 34 |
| Быстрота откачки по Ar, л/с | 65 |
| Коэффициент сжатия по N 2 | ≥ 1×10 9 |
| Коэффициент сжатия по He | ≥ 1×10 5 |
| Коэффициент сжатия по H 2 | ≥ 1×10 4 |
| Коэффициент сжатия по Ar | ≥ 1×10 9 |
| Предельное остаточное давление, Па | ≤ 3×10 -5 (исполнение ISO-K) |
| Максимальная газовая нагрузка, ст. см³/мин | N 2 : 35; He: 30; H 2 : 19; Ar: 38 |
| Входное соединение | ISO-K 63 или CF 63 |
| Выходное соединение | KF16 |
| Тип подшипников | Керамические шариковые, консистентная смазка |
| Скорость вращения ротора, об/мин | 72 000 |
| Время запуска до номинала, мин | ≤ 2 |
| Рекомендуемое стартовое давление, Па | < 10 |
| Максимальное давление запуска, Па | N 2 : 1500 |
| Допустимое форвакуумное давление, Па | < 500 |
| Монтажное положение | Произвольное |
| Температура отжига, °C | ≤ 100 |
| Параметры охлаждающей воды | 10–25 °C; давление 0,15 МПа; расход > 1 л/мин |
| Максимальная потребляемая мощность, Вт | 90 |
| Масса, кг | 2,6 (ISO-K); 3,5 (CF) |
| Комплект поставки | Насос, блок управления, кабель питания, кабель управления, комплект крепежа и уплотнений в зависимости от типа фланца, руководство на русском языке, гарантийный талон |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Назначение и подбор
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-63/80 подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- промышленное течеискание
- PVD и CVD процессы
- ионное травление
- оптическое покрытие
- вакуумные печи
- аналитические приборы
Комплектация и аксессуары
Состав комплектации определяется исполнением модели, фланцами, контроллером, датчиками, охлаждением и требованиями установки.
Обслуживание
- проверка охлаждения и питания
- контроль форвакуумного давления
- соблюдение регламента запуска и остановки
Документация
Технический лист модели
Русскоязычный PDF содержит изображение, назначение, параметры модели и критерии подбора.
Нужна проверка совместимости?Укажите модель, рабочее давление, объём камеры и требуемый режим.
Написать специалисту