Турбомолекулярные насосы
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-100/300
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-100/300 относится к серии «Турбомолекулярные насосы с консистентной смазкой» и предназначен для получения высокого и сверхвысокого вакуума в технологических, аналитических и исследовательских установках.
МодельFF-100/300
Группа оборудованияТурбомолекулярные насосы
Выходной фланецDN25 ISO-KF
Скорость откачкиN2:296 л/с
| Модель | FF-100/300 |
|---|---|
| Группа оборудования | Турбомолекулярные насосы |
| Выходной фланец | DN25 ISO-KF |
| Скорость откачки | N2:296 л/с |
| Степень сжатия | N2:109 |
| Предельное давление | CF:2×10-7 | ISO-K:2×10-6 | 500 Па |
| Максимальное форвакуумное давление | N2:700 | N2:120 Па | см3/мин |
| Номинальная скорость вращения | 51000 об/мин |
| Время запуска | ≤3.5 мин | 3.5 мин |
| Охлаждение | водяное охлаждение или воздушное охлаждение |
| Расход охлаждающей воды | 1 л/мин |
| Температура охлаждающей воды | ≤25 | DC24/AC220 °C | В AC |
| Максимальная потребляемая мощность | до 220 Вт |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 1–3 л/с (двухступенчатый пластинчато-роторный или сухой) |
| Масса | 7（ISO-K） | 10（CF） кг | 2.6 кг | 0.4 кг | 0.3 кг |
| Входное напряжение | 110В AC±10%/ | 220В AC±10% V | 24В DC±5% V | 24В DC±5% |
| Выходная частота | 47 - 63 Гц | Гц |
| Power | 240 Вт | Вт |
| Output power | 24В DC±5% | В DC |
| Индикация | LCD |
| Температура рабочей среды | 5- 40 °C | 5-40 °C |
| Влажность | 80 % |
| Максимальная выходная мощность | 200 Вт |
| Frequency | 950 Гц |
| Max acceleration voltage | 19 V |
| Max acceleration current | 13 A |
| Shut-off time | 12 мин |
| × × L*W*H | 83.5×40×97 mm |
| Исполнение | контроллер вакуумного насоса |
| Параметр | Значение для FF-100/300 |
| Тип насоса | Турбомолекулярный, многоступенчатый, со встроенным контроллером |
| Номинальная быстрота откачки по N 2 | ≈ 300 л/с (295 л/с по каталожным данным) |
| Быстрота откачки по He | ≈ 250 л/с |
| Быстрота откачки по H 2 | ≈ 200 л/с |
| Быстрота откачки по Ar | ≈ 305 л/с |
| Предельное остаточное давление (CF) | 5×10 -7 Па |
| Предельное остаточное давление (ISO-K) | 2,5×10 -6 Па |
| Входной фланец | DN100 CF или DN100 ISO-K |
| Выхлопной фланец | DN25 |
| Максимальное допустимое форвакуумное давление (кратковременная работа) | до 700 Па (по N 2 ) |
| Допустимое форвакуумное давление при продолжительной работе | до 500 Па |
| Скорость вращения ротора | 51 000 об/мин |
| Время выхода на номинальную скорость | не более 4 мин |
| Система охлаждения | воздушное (стандарт), водяное (опция), расход воды 1 л/мин, ≤25 °C |
| Питание | DC 24 V или AC 220 V (через блок TCP240) |
| Интегрированный контроллер | TD-300, совместим с TCP-240 / TC-100 |
| Монтажное положение | любое |
| Масса (ISO-K) | ≈ 8,5 кг |
| Масса (CF) | ≈ 11 кг |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Назначение и подбор
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-100/300 подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- промышленное течеискание
- PVD и CVD процессы
- ионное травление
- оптическое покрытие
- вакуумные печи
- аналитические приборы
Комплектация и аксессуары
Состав комплектации определяется исполнением модели, фланцами, контроллером, датчиками, охлаждением и требованиями установки.
Обслуживание
- проверка охлаждения и питания
- контроль форвакуумного давления
- соблюдение регламента запуска и остановки
Документация
Технический лист модели
Русскоязычный PDF содержит изображение, назначение, параметры модели и критерии подбора.
Нужна проверка совместимости?Укажите модель, рабочее давление, объём камеры и требуемый режим.
Написать специалисту