Турбомолекулярные насосы
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-160/620E
турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-160/620E относится к серии Маслосмазываемые турбомолекулярные насосы. Ниже приведены проверенные параметры базовой серии; конкретное исполнение уточняется при подборе комплектации.
МодельFF-160/620E
Группа оборудованияТурбомолекулярные насосы
Входной фланецDN160 CF
Выходной фланецDN160 ISO-K | DN40 | N2:600 ISO-KF
| Модель | FF-160/620E |
|---|---|
| Группа оборудования | Турбомолекулярные насосы |
| Входной фланец | DN160 CF |
| Выходной фланец | DN160 ISO-K | DN40 | N2:600 ISO-KF |
| Скорость откачки | He:380 | H2:240 | Ar:580 л/с |
| Степень сжатия | N2:109 |
| Предельное давление | CF:6×10-7 Па |
| Максимальное непрерывное форвакуумное давление | 240 Па |
| Максимальное форвакуумное давление | N2:350 | N2:1200 Па | см3/мин |
| Номинальная скорость вращения | 27000 об/мин |
| Время запуска | ≤7 мин |
| Охлаждение | водяное охлаждение |
| Расход охлаждающей воды | ≥1 л/мин |
| Температура охлаждающей воды | ≤25 °C |
| Питание | DC24/AC220 В AC |
| Масса | 29（ISO-K） 30.5（CF） кг |
| Исполнение | турбомолекулярный вакуумный насос |
| Контакт | vac@kykytech.ru |
Назначение и подбор
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-160/620E подбирается по рабочему диапазону давления, требуемой производительности, газовой нагрузке, присоединительным фланцам, условиям охлаждения, питанию и совместимости с существующей вакуумной системой.
Применение
- промышленное течеискание
- PVD и CVD процессы
- ионное травление
- оптическое покрытие
- вакуумные печи
- аналитические приборы
Комплектация и аксессуары
Состав комплектации определяется исполнением модели, фланцами, контроллером, датчиками, охлаждением и требованиями установки.
Обслуживание
- проверка охлаждения и питания
- контроль форвакуумного давления
- соблюдение регламента запуска и остановки
Документация
Технический лист модели
Русскоязычный PDF содержит изображение, назначение, параметры модели и критерии подбора.
Нужна проверка совместимости?Укажите модель, рабочее давление, объём камеры и требуемый режим.
Написать специалисту