Перейти к содержанию
KYKY Tech RussiaВакуумные технологии vac@kykytech.ru
Системы вакуумного напыления

Система малого ионного распыления SBC-12 KYVAC

Оборудование KYKY для вакуумных технологических, аналитических и исследовательских установок. Подбор выполняется по параметрам рабочего процесса и совместимости компонентов.

МодельSBC-12
Группа оборудованияСистемы вакуумного напыления
Система малого ионного распыления SBC-12 KYVAC
Система малого ионного распыления SBC-12 KYVAC
МодельSBC-12
Группа оборудованияСистемы вакуумного напыления
Контактvac@kykytech.ru

Система малого ионного распыления SBC-12 KYVAC — промышленное вакуумное оборудование для задачи «подготовка образцов и нанесение покрытий». Конфигурация подбирается по объекту, требуемому рабочему циклу и условиям интеграции в производственный или исследовательский участок.

Технические характеристики и особенности

Этот инструмент в основном используется для нанесения проводящих пленок (золотых пленок) на образцы сканирующего электронного микроскопа. Работа с прибором проста и удобна, что делает его незаменимым инструментом для подготовки проб в сочетании со сканирующими электронными микроскопами среднего и малого размера.
Области применения: Подготовка образцов для электронного микроскопа (можно напылять золото, платину, серебро, медь, алюминий и т. д.)
Технические характеристики
Размер золотой мишени:Ф58мм.
Обнаружение вакуума: манометр Пирани
Напряжение: 220 В/50 Гц
Камера обработки стекла:Ф100мм, высота 130мм.
Размер столика для образцов: Ф40 мм может одновременно вмещать 6 чашек для образцов.
Вакуумная система: Пластинчато-роторный вакуумный насос с прямым подключением 2L/S.
Защита от вакуума: 20 Па, оснащен микроклапаном для наполнения газа для регулировки рабочего вакуума.
Газ рабочей среды в камере: воздух или аргон, оснащен специальным входом аргона и микрорегулировкой наполнения газом.

Назначение

Система малого ионного распыления sbc-12 применяется там, где требуется воспроизводимый вакуумный процесс, контролируемая последовательность операций и согласование оборудования с оснасткой заказчика. На этапе подбора определяются рабочая камера, вакуумная схема, средства измерения и алгоритм управления.

Основные сведения

Наименование Система малого ионного распыления SBC-12 KYVAC
Модель или исполнение SBC-12
Категория Системы вакуумного напыления
Технологический процесс Подготовка образцов и нанесение покрытий
Тип поставки Комплектная установка или интегрируемый модуль
Объект обработки или контроля Определяется изделием и техническим заданием
Рабочая конфигурация Согласуется по производительности, габаритам изделия и вакуумному циклу
Инженерная подготовка Подбор, наладка, ввод в эксплуатацию и обучение операторов

Технологическая схема

Система формируется вокруг рабочей камеры или технологической оснастки. Вакуумная часть, измерительные каналы, запорная арматура и управление согласуются как единый комплекс. Такой подход позволяет задать последовательность откачки, выдержки, измерения или обработки и корректно связать установку с существующей инфраструктурой.

Применение

Оборудование подходит для промышленных предприятий, исследовательских центров и испытательных лабораторий, которым требуется подготовка образцов и нанесение покрытий. Фактические параметры цикла и состав поставки фиксируются после анализа изделия и требований к процессу.

Комплектация и интеграция

При подготовке проекта учитываются вакуумные соединения, электропитание, охлаждение, газовые линии, размещение оборудования, требования к автоматизации и безопасной эксплуатации. Совместимые насосы, вакуумметры, клапаны, оснастка и средства управления выбираются под конкретную конфигурацию.

Сервис и запуск

Для оборудования доступны техническое консультирование, наладка, ввод в эксплуатацию, обучение заказчика и сервисная поддержка. Для подбора исполнения направьте описание изделия и рабочего цикла на vac@kykytech.ru.

Документация

Технический лист модели

Русскоязычный PDF содержит изображение, назначение, параметры модели и критерии подбора.

Скачать PDF
Нужна проверка совместимости?Укажите модель, рабочее давление, объём камеры и требуемый режим.
Написать специалисту