Перейти к содержанию
KYKY Tech RussiaВакуумные технологии vac@kykytech.ru
Системы вакуумного напыления

Многофункциональная установка подготовки поверхности образцов KYVAC SBC-2

Оборудование KYKY для вакуумных технологических, аналитических и исследовательских установок. Подбор выполняется по параметрам рабочего процесса и совместимости компонентов.

МодельSBC-2
Группа оборудованияСистемы вакуумного напыления
Многофункциональная установка подготовки поверхности образцов KYVAC SBC-2
Многофункциональная установка подготовки поверхности образцов KYVAC SBC-2
МодельSBC-2
Группа оборудованияСистемы вакуумного напыления
Контактvac@kykytech.ru

Многофункциональная установка подготовки поверхности образцов KYVAC SBC-2 — промышленное вакуумное оборудование для задачи «подготовка образцов и нанесение покрытий». Конфигурация подбирается по объекту, требуемому рабочему циклу и условиям интеграции в производственный или исследовательский участок.

Технические характеристики и особенности

Области применения:
Подготовка проб для просвечивающей электронной микроскопии, ионного зондирования, сканирующей электронной микроскопии, энергоспектрометрического анализа, физико-химического анализа, научных исследований и т.д.
Основные функции:
Оснащен ионным распылением, ионным распылением, ионной очисткой, испарением углерода и другими функциями.
Технические характеристики:
Ток ионного распыления: ≤100 А, плавная регулировка.
Напряжение ионного распыления: ≤3 кВ, плавная регулировка.
Предельная степень вакуума: лучше, чем 2×10-3Па.
Размер вакуумной камеры: внутренний диаметр Ф250 мм × высота 340 мм.
Размер изолирующей крышки стекла с ионным распылением: внутренний диаметр Ф88 мм × высота 140 мм.
Размер изоляционной крышки для напыления стекла: Ф88 мм × высота 57 мм.
Примеры режимов движения: плоское вращение, наклонное вращение, прецессионное вращение.

Назначение

Многофункциональная установка подготовки поверхности образцов применяется там, где требуется воспроизводимый вакуумный процесс, контролируемая последовательность операций и согласование оборудования с оснасткой заказчика. На этапе подбора определяются рабочая камера, вакуумная схема, средства измерения и алгоритм управления.

Основные сведения

Наименование Многофункциональная установка подготовки поверхности образцов KYVAC SBC-2
Модель или исполнение SBC-2
Категория Системы вакуумного напыления
Технологический процесс Подготовка образцов и нанесение покрытий
Тип поставки Комплектная установка или интегрируемый модуль
Объект обработки или контроля Определяется изделием и техническим заданием
Рабочая конфигурация Согласуется по производительности, габаритам изделия и вакуумному циклу
Инженерная подготовка Подбор, наладка, ввод в эксплуатацию и обучение операторов

Технологическая схема

Система формируется вокруг рабочей камеры или технологической оснастки. Вакуумная часть, измерительные каналы, запорная арматура и управление согласуются как единый комплекс. Такой подход позволяет задать последовательность откачки, выдержки, измерения или обработки и корректно связать установку с существующей инфраструктурой.

Применение

Оборудование подходит для промышленных предприятий, исследовательских центров и испытательных лабораторий, которым требуется подготовка образцов и нанесение покрытий. Фактические параметры цикла и состав поставки фиксируются после анализа изделия и требований к процессу.

Комплектация и интеграция

При подготовке проекта учитываются вакуумные соединения, электропитание, охлаждение, газовые линии, размещение оборудования, требования к автоматизации и безопасной эксплуатации. Совместимые насосы, вакуумметры, клапаны, оснастка и средства управления выбираются под конкретную конфигурацию.

Сервис и запуск

Для оборудования доступны техническое консультирование, наладка, ввод в эксплуатацию, обучение заказчика и сервисная поддержка. Для подбора исполнения направьте описание изделия и рабочего цикла на vac@kykytech.ru.

Документация

Технический лист модели

Русскоязычный PDF содержит изображение, назначение, параметры модели и критерии подбора.

Скачать PDF
Нужна проверка совместимости?Укажите модель, рабочее давление, объём камеры и требуемый режим.
Написать специалисту